还原再氧化BaTiO3基PTCR陶瓷制备及叠层片式器件工艺研究-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不 包含任何其它个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做 出贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声 明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即： 学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许 论文被查阅和借阅。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部 分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段 保存和汇编本学位论文。 保 密□，在 年解密后适用本授权书。 本 论 文  不保密□。 (请在以上方框内打“√”) 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 I I 摘 要 为了适应 SMT 技术的发展，PTCR 元件必须向微型化、低阻化、叠层化方向发展。 本文为了制备高性能叠层片式 PTCR 元件，在钛酸钡基陶瓷制备以及叠层片式 PTCR 器件成型工艺上展开了相关研究。 本文采用固相法制备钛酸钡粉体材料，采用流延工艺、热压成型，以及丝网印刷 电极，还原气氛烧结，再氧化处理等一系列适用于叠层片式 PTCR 制备的工艺手段制 备了片式 PTCR 瓷片和叠层片式 PTCR 器件。在钛酸钡基片式 PTCR 陶瓷制备过程中 引入 BN 作为烧结助剂并研究了 BN 对片式 PTCR 陶瓷性能的影响；也利用 La 作为施 主添加剂并研究了 La 对片式 PTCR 陶瓷性能的影响。同时也研究了高能球磨、还原气 氛烧结、再氧化处理等工艺对片式 PTCR 陶瓷性能的影响。 结果表明，高能球磨工艺制备的陶瓷样品晶粒尺寸更小，并且具备合适的室温电 阻率、升阻比；还原气氛烧结温度应在保证瓷片合适密度的同时尽可能的控制在较低 的范围；BN 添加剂可以促进钛酸钡陶瓷晶粒的增长，提升了再氧化对 BaTiO3 陶瓷室 温电阻率的影响效果，并且提高了晶粒体中的施主浓度和晶界表面的受主浓度。BN 添 加剂含量 5%陶瓷综合性能最佳；1135℃还原气氛烧结、700℃氧化时 La 含量 0.35%样 品晶粒尺寸为 1.4μm，室温电阻率为 109Ω?cm，PTC 效应为 3.5 个数量级。 最终本文利用 La 含量 0.35%的 BaTiO3 粉料成功制备出含有 22 层介质的叠层片式 PTCR 器件，器件尺寸为 1206 型(3mm*1.5mm)，室温电阻为 0.2Ω，PTC 效应为 3.3 个 数量级。 关键词： PTCR 叠层片式 钛酸钡 还原气氛烧结 再氧化 II II ABSTRACT In order to follow the development of the SMT technology, PTCR device must be miniaturized, low resistance and laminated. This thesis mainly focuses on the preparation of BaTiO3–based ceramics and the technology for the preparation of high performance laminated PTCR components. In this thesis solid-phase method for the preparation of barium titanate powder materials was used. And also the blade-cast technology, hot pressing, and screen printing for the electrode, sintering in reducing atmosphere, oxidation process etc. These are a series of applicable technology for the preparation of the chip PTCR ceramics and the preparation of laminated chip PTCR devices. During the preparation of BaTiO3-based ceramic PTCR, BN, the sintering additives were introduced into the system and the influence of BN additives on the perform