硅基超疏水低反射表面的仿生结构制备工艺研究-机械电子工程专业论文.docxVIP

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究 成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已 经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在文中以明确 方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留 并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授 权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采 用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□，在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 华 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘 要 太阳能电池存在一些问题，如太阳入射光的吸收率不高，由于过热而造成的电池转 换效率较低，受恶劣环境的影响而导致稳定性差等。自然界中的生物对于不同的环境都 具有良好的适应性。这些植物的一些特定的结构对于光学传输、温度控制、自清洁功能 有直接的影响。我们以一些具有特殊结构的生物体为仿生对象，开展多功能太阳能电池 智能表面结构的仿生机理和制备技术的研究。并基于仿生结构的原理提出了两种实验制 备方法，并测试了表面结构的光学特性、疏水性、微观几何结构用以验证多功能的特性。 论文主要研究内容如下： 1）仿生结构的机理研究。一些生物体结构具有良好的光学减反性和疏水性，其表 面微观的有序结构发挥着决定性的作用。表面的纳米线柱结构在生物体防水去污功能上 起到了重要的作用，而对另外的生物体，相似的纳米线柱结构同时展现出优异的光学减 反性。因此通过调整纳米线柱结构的分布和尺度，可能会同时具备优异的疏水性和光学 减反性。而将这样的纳米线柱结构作为半导体材料运用于太阳能电池，在提高电池效率、 实现自清洁多功能方面会有显著的突破。 2）基于湿法腐蚀方法进行了硅纳米线的制备工艺的研究。采用湿法腐蚀方法进行 了硅纳米线的制备，并对其结构形貌、疏水性、光学特性进行了测量表征。在实验中采 用 100 晶向的单晶硅片，室温下在其表面成功制备了大面积的硅纳米线阵列。测试表明， 样品表面反射率在 450-790nm 波长范围内达到 5%以下，表面接触角高达 150?，具备了 较好疏水性和减反性的复合。 3）基于自组装微球掩膜纳米单层膜制备工艺的研究。在实验过程中，发现湿法腐 蚀的重复性和可控性较差。本论文从掩膜法辅助刻蚀纳米结构出发，讨论了 SiO2 微球 的自组装技术。并在实验中成功的制备了 SiO2 纳米微球单层膜，为后阶段的纳米结构 的制备做好了准备工作。 关键词：硅纳米线 疏水性 反射率 湿法腐蚀 自组装技术 II II Abstract There are some problems of solar cells, such as the difficulty in focusing absorption of incident sunlight, the lower conversion efficiency caused by overheating, the poor stability affected by abominable environments. Natural organisms have a good adaptability in different environments. Some specific structures of plants and animals directly contribute to the characteristics of optical propagation control, temperature control and self-cleaning. In this study, we take some special structure of the organisms as the bionic object and carry out a brief survey on the bionic mechanism and preparation technologies of the intelligent multi-function solar cell surface structure. We have proposed two kinds of experiment scheme based on the stru