光纤法珀压力传感器的研究-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 RESEARCH ON FIBER FABRY-PEROT PRESSURE SENSORS Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Optical Engineering Author: Cheng Li Advisor: Zengling Ran Associate professor School : School of Communication and Information Engineering 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地 方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含 为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明 确的说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁 盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文 的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或 扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘要 摘 要 光纤传感器由于其本身特有的优势，如结构简单、体积小、无电磁干扰，在 航空航天、能源、建筑等工业和军事领域得到了广泛的应用。 光纤法珀传感器是光纤传感器中的典型代表，随着各种微加工技术的发展， 出现了各种微型的光纤法珀传感器。光纤法珀压力传感器继承了光纤传感器的基 本优点，并得到了较好的发展应用。目前光纤法珀压力传感器已经应用于涡轮发 动机和油井等环境的压力测量。 本文围绕光纤法珀压力传感器展开，针对国家重点需求领域，致力于通过 157nm 激光微加工技术制造一种微型耐高温的光纤法珀压力传感器，用于高温压 力测试。 论文简要介绍了光纤法珀的基本分类和原理，根据膜片感压原理在理论上计 算了所需传感器的尺寸，并按照实际需求设计了两种量程的光纤法珀压力传感器， 利用 157 nm 激光加工技术在普通单模光纤上制作压力传感器，制成了一种工艺可 靠、尺寸微小的光纤法珀压力传感器。然后搭建实验平台对传感器的主要性能指 标进行测试，实验结果表明，两种光纤法珀压力传感器在各自的量程范围内线性 度均达到 0.99 以上，最大误差均小于 1%，并对 5 MPa 光纤压力传感器进行了高 温测试，在 300℃范围内，不同温度点下，光纤法珀压力传感器单位压力的相位变 化量略有不同，但线性度均大于 0.99，经过标准计量测试，所制作的 5 MPa 光纤 法珀压力传感器获得国家 1 检定证书。 关键词：光纤法珀，膜片压力，157 nm 激光 I ABSTRACT ABSTRACT Optical fiber sensors have many special advantages, such as simple structure, small size, free from electromagnetic interference, which are widely applied to industrial and military fields including aerospace, energy, architecture, etc. Fiber Fabry-Perot sensors are the typical representative in fiber optic sensors. Fiber Fabry-Perot sensors are widely applied for their high sensitivity and good reliability. Fiber Fabry-Perot pressure sensors have attracted great interests in a large number of applications such as automotive and aerospace industries, and down –hole monitoring in oil wells. They can offer outstanding advantages over electrical transducers, such as long-term stability, E