大功率半导体激光器应用的若干问题研究-光学精密工程.PDF

维普资讯 lfl一厶 第 4卷第 5期 光学 精密工程 Vo1．4，No．5 1996年 1O月 OPTICSAND PRECISION ENGINEERING Octobe~，1996 大功率半导体激光器应用的若干问题研究 (中国科学院上海光学精密机械研究所，上海201800) T ．牛 y榔 要 主要致力于探索半导体激光及其泵浦的圈体激光器在实际应用中的推广。 具体包括：半导体激光的热稳定、波长稳定性及功率稳定性}激光=极管刊阵多光束组 合式光学耦合景统l蚶面泵浦各 向异性介质的热效应模塑I半导体泵浦的输出损耗电光 调制的多功能激光技术． 关键调 ；半导体激光l光学耦合l热效应 ，电光调制 1 引 言 半导体激光器 以及半导体激光泵浦的固体激光技术 ，推动半导体制造技术的飞速发展，在 众多的生产和科研领域获得广泛的应用．近十年来 ，半导体激光及其泵浦的固体激光器的发 展，各国科研人员在这方面投入极丈热情 ，并取得了许多突破性的进展。随着研究的深入 ，由传 统的激光技术研究转 向半导体激光及其泵浦的特有的激光技术的研究，给激光技术的发展带 来了全新的概念 ．小型、高效、多功能的激光技术越来越多地被开发和研究[1-3]。我们主要致力 于探索半导体激光及其泵浦的固体激光器在实际应用中的推广 。 2 大功率激光二极管的光束特性 激光二极管在使用过程中，其特性会随温度发生变化 ，为了使波长、功率稳定必须用温控 系统对 LD热沉恒温。但芯片与热交换率影响了LD芯片的温度值。LD波长、功率常常随LD 结的温度变化而变化。为了满足 LD应用中对波长、功率稳定性的要求．用半导体致冷器温控 系统对激光二极管的热沉温度进行控制(本实验 中约为 20(2)。在此基础上 ，对激光二极管波 长的变化及功率稳定性参数进行测试， 便为实际应用提供重要的参效。 激光二极管发光 以后，由于激光二极管芯片发出的热须通过传导向二极管热沉散热-所以 激光二极管芯片的热平衡须经过一段时问才能达到，且这段时问长短决定于芯片与热沉间的 热交换系数。所 以激光二极管的管芯韫度会有一上升过程而后趋于稳定。激光二极管管芯的 温度上升，造成二极管材料的折射率升高且准费米能级问距减少Ⅲ。准费米能级间距减少 ，使 峰值增益系数和增益达最大值处的波长朝长波长方 向移动。激光二极管介质折射率的增加，造 成谐振腔决定的波长向长波方向移动。由于上述两方面的原因，激光二极管管芯的温升引起激 收瞢 日期=1996年8且 1日 维普资讯 5期 郑朝思等： 大功率半导体激光器应用的若干问题研究 15 光波长向长波方向移动。管芯达到热平衡时，激光波长才达到稳定。 当激光二极管工作在阈值之上时，注入 电流的增加对激光波长的影响主要也是 由温度上 升引起的。注入 电流的增加 同时也导致热耗散的增加，产生更多的热量 。由于管芯与热沉之间 的散热正 比于二者之 间的温差 ，所以在热沉温度 由温控系统恒温时，管芯必须保持更高 的温度 才能将注入 电流增加产生的更多的热量传导出去。因此，注入 电流的增加造成了管芯温度的增 加 ，导致激光波长向长波长方向移动 。 管芯的温度特性同时还决定了激光二极管的功率稳定性。激光发光以后 ，LD芯片的温度 将上升一段时间，而后达到热平衡 。因而其功率受温度特性的影响先下降一段时间而后达到较 稳定的状态 。 3 组合式半导体激光的耦合系统特