光纤接头V型微槽超精密机床的误差预估-机械工程专业论文.docxVIP

分类号： 分类号： 学校代号：11845 UDC： 密级： 学号：2111201046 广东工业大学硕士学位论文 (工学硕士) 光纤接头V型微槽超精密机床的误差预估 刘 浩 指导教师姓名、职称： 塞9塑塾援 学科(专业)或领域名称： 扭越王程 学生所属学院： 扭皇王猩堂瞳 论文答辩日期： 至Q!互生Q鱼目Q圣旦 万方数据 A A Dissertation Submitted to Guangdong University of Technology for the Degree of Master of Engineering Science Error Budget of the Ultra--precision V-groove Machine Tools Master Candidate：Liu Hao Supervisor：Prof．Liu Qiang June 2015 School of Electro-mechanical Engineering Guangdong University of Technology Guangzhou。Guangdong，P．R．China，51 0006 万方数据 摘要摘要 摘要 摘要 国际激烈竞争的关键就是发展超精密加工技术等，发展微电子工业、光学零件、 尖端技术和国防科技等都需要精密和超精密加工技术。当代的超精密工程代表的是现 代制造业技术的前沿，同时也是明天先进制造技术的基础。光纤接头V型微槽超精密 加工机床主要用于微V沟槽、微柱面槽、导光槽、背光模组及划片等的超精密加工。 超精密机床的误差预估是一个系统性的精度分析工具，它的研究起源于20世纪80年 代，过去几十年来一直有研究者对误差预估的研究方法和理论进行提高和总结。研究 光纤接头V型微槽连接器的超精密加工理论和机床的设计制造，可以准确的分析出机 床的加工误差。 本文以光纤接头V型微槽超精密加工机床为研究对象，对误差预估的研究方法进 行分析，得到机床的加工工件形状误差预测值，具体对如下几个方面进行了研究： 介绍了国外高性能超精密加工机床的特点，分析了超精密机床误差预估国内外的 研究现状，指出了目前超精密机床误差预估方面的研究特点和存在的不足。 对超精密机床误差预估的流程图进行详细的介绍和分析，本文创造性的提出了将 蒙特卡罗仿真法运用在光纤接头V型微槽超精密加工机床的误差预估上，并详细介绍 了整个模拟加工工件形状误差的方法，取得了良好的模拟效果；同时介绍了均方根原 则的相关理论，并使用均方根原则法对机床进行了误差预估。 根据多体系统理论，对光纤接头V型微槽超精密加工机床进行拓扑结构分析、运 动链分析并建立机床的误差模型，使用蒙特卡罗仿真法模拟机床加工工件的形状误差； 同时，使用均方根原则模拟机床加工工件的形状误差。 使用激光干涉仪实际测得光纤接头V型微槽超精密加工机床的各项几何误差，并 将数据进行分析整理得到误差源的取值范围，通过计算机软件进行仿真模拟得到预测 的形状误差值。最后得到误差源取值范围的变化对形状误差的影响规律。 关键字：超精密机床；误差预估；蒙特卡罗；仿真；均方根原则 万方数据 广东工业大学硕士学位论文Abstract 广东工业大学硕士学位论文 Abstract The development of ultra-precision machining technology is the key to international competition．The development of microelectronics industry,optical components， cutting-edge technology,and national defense science and technology needs the precision and ultra precision machining technology．Modem ultra-precision engineering represents the forefront of modem manufacturing technology．Simultaneously,it is also the foundation of advanced manufacturing technology in the future．The ultra-precision v-groove machine tools are mainly used in the ultra-precision machining of micro v-groove，micro cylindeL light tank，backlight modules