TiTiN和NiTiN多层膜的制备和小载荷下摩擦性能研究-中国表面工程.PDFVIP

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2019-04-02 发布于北京
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TiTiN和NiTiN多层膜的制备和小载荷下摩擦性能研究-中国表面工程.PDF

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TiTiN和NiTiN多层膜的制备和小载荷下摩擦性能研究-中国表面工程.PDF

19 5 Vol.19 No.5 2006 10 CHINA SURFACE ENGINEERING October 2006 32 2006 Ti/TiN Ni/TiN * 100084 Si(100)Ti/TiNNi/TiNTiNXWYKO 3NmN 333 Ti/TiNNi/TiNNmNTiN TiN Ti/TiN; Ni/TiN; ; TH 117.1 A 1007–9289(2006)05–0032–06 Preparation and Friction Properties of Ti/TiN and Ni/TiN Multilayered Films QING Tao, SHAO Tian-min, WEN Shi-zhu State Key Lab. of Tribology, Tsinghua University, Beijing 100084China Abstract: Ti/TiN and Ni/TiN multilayered films and TiN single film were prepared on Si(100) wafers. Films were characterized by XRD, WYKO and AES. The adhesion forces, friction under the loads of N or mN scale, nano hardness of the films were tested. The results showed that the adhesion forces of all three films increased with the relative humidity, and the friction forces of them increased with the loads. The friction forces under N or mN scale of two multilayered films were smaller than that of TiN single film. The friction properties of two multilayered films were improved compared with TiN single film. Key words: Ti/TiN; Ni/TiN; friction; adhesion 0 [9] Si [1~8] (100)Ti/TiNNi/TiN [1,2] Holmberg[2] (N) /Ti/TiN Ni/TiN (mN) [3] [4,5] Misina Irie Ni/TiN Mori[6]Li[7]Ti/TiN