非平衡磁控溅射等离子体频谱特征-核聚变与等离子体物理.PDF

第 30 卷 第 2 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.30, No.2 2 0 1 0 年 6 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics June 2010 文章编号：0254−6086(2010)02−0169−04 非平衡磁控溅射等离子体频谱特征 牟宗信，牟晓东，贾 莉，张鹏云，刘升光，董 闯 (三束材料改性教育部重点实验室，大连理工大学物理与光电工程学院，大连 116024) 摘 要：利用朗缪尔探针和快速傅里叶变换研究了非平衡磁控溅射等离子体静电波动的驻波共振频谱特征。 频带宽度为 0~300kHz ，典型放电条件下磁控靶前 2cm 和 10cm 两个位置的共振本征频率变化范围分别为 10~50kHz 和 1~10kHz，研究了线圈电流、气压和放电功率等参数对共振本征频率的影响；指出了非平衡磁控溅 射中能够导致等离子体静电驻波共振的两种势阱结构，提出驻波共振机制解释特征频率出现的原因，根据声驻波 共振机制计算的电子温度数值符合实验的结果。 关键词：磁控溅射；等离子体；共振 中图分类号：O539 文献标识码：A 1 引言 个数值介于电子回旋频率和离子回旋频率之间，研 近年来发展了孪生磁控溅射技术和高功率脉 究发现放电气压和功率达到一定阈值才能够激发 ～ 冲磁控溅射技术[1 4] 。由于磁控靶的特殊电场和磁 等离子体静电波动；证实了直流磁控溅射等离子体 场结构，如何提高能量耦合效率和电荷的传输机制 静电波动是电荷密度波动，幅值能够达到 30% ，属 是重要的研究课题，如反常的电荷传输机制、复杂 于不稳定交叉场漂移和密度梯度模式的相干波动， 的静电波动、脉冲耦合的物理过程等问题，涉及到 角向波矢和频率之间存在线性关系，线性理论的描 复杂时空结构和非线性物理过程。在平行磁控靶表 述很好符合实验现象。 面的磁场 B 和垂直磁控靶表面的电场 E 形成的正交 磁控靶上的电子 E ×B 运动、电场梯度和电荷 场中，电子迁移的速度为 vd E / B ，因这种场能够 密度梯度都能够形成不稳定性，为中性拖曳不稳定 约束电子被称为磁阱；磁控靶和与之平行的偏压基 性或双流体不稳定性，满足一定条件时导致大幅度 片之间形成了另一种势阱结构。磁控溅射中放电气 的电荷密度波动，并激发离子声波[8] 。非平衡磁控 体和溅射原子的电离主要发生在磁控靶鞘层附近 溅射可以采用同轴线圈控制系统轴向的非平衡度 并在电场力和密度梯度的作用下向基片迁移[5] 。放 [9] 。实验发现非平衡磁场增强静电波动的相对强度， 电时，磁控靶的电场梯度、电荷密度梯度和电荷的 这种静电波动信号和磁场、功率等放电条件有密切 交叉场漂移等因素导致了复杂的等离子体静电波 关系。 ～ 动[5 7] ，其频率在几 Hz ～1MHz 范围之内，在这个 采用 Langmuir 探针研究了两个位置上的等离 频率范围内存在离子声波、离子回旋波和低混杂波 子体参数和浮置电位信号随放电条件的变化关系， 动等低频波动。Sheridan 实验研究了直流磁控溅射 采用傅里叶变换得到特征频谱，发现了两个位置对 出现的等离子体湍动[6] ，认为是等离子体的电荷密 应不同的频域，重点探讨了形成两种特征基频的驻 度波动——磁阱中被磁化电子在交叉场作用下漂 波特征。 移，漂移速度大于声速时形成不稳定的离子声波模 式。Martines[