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微结构（MEMS）材料力学性能;制造方法化学沉积、溅射、电镀等;－目前，硅类薄膜材料的电学、化;MEMS器件在工业中得到了广泛;微型薄膜微型铰链;微型齿轮微型弹簧;微型反射板;MEMS的设计和服役中需了解的;－＋反馈系统nmSTM原理示意;微结构材料力学性能的测试方法大;一、单轴拉伸法：是获得薄膜力学;1992年Read等人设计的带;静电力夹持拉伸装置示意图199;3、自由端环状悬臂梁试件拉伸1;由Espinasa等人设计MD;二、纳米压痕法纳米压痕法用纳米;定义硬度H和等效弹性模量 ;hc总是小于压入深度： ;三、鼓膜法1959年由Beam;膜内最大应力σm 和最大应变ε;四、微梁弯曲法最早由Weihs;五、衬底曲率法薄膜中的残余应力;片上测试系统片上测试系统集成了;1、扇状梳齿静电驱动弯曲测试系;（a）谐振子，（b）叉指驱动电;2、单轴拉伸片上测试系统由Ha;3、拉伸疲劳片上测试系统由Ta;以上介绍的一些典型微结构件材料;MEMS可靠性分析方法可靠性是;MEMS可靠性整体分析示意图;无标题;无标题;无标题;无标题;无标题;AFM带有许多的功能模块，分为
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