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软X射线光学系统曲面镀膜膜厚测量方法-光学精密工程.PDF
82 Vol. 8, No. 2
2 0 0 0 4 OPTICS A D PRECISIO E GI EERI G Apr . , 2000
1004-924 ( 2000) 02-0124-04
X
X
刘毅楠, 马月英, 裴 舒, 胡卫兵, 曹健林
( 中国科学院长春光学精密机械与物理研 所应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130022)
:
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:软 射线多层膜; 曲面基片; 误差分析
X
:O484. 5:A
[ 1]
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1 引 言 ( 1) ,
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[ 1- 3]
, 1114nm ( 2) X
[ 1]
60% , , ,
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SXPL
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X 6. 9nm40 ,
(SXPL) , 0.02nm[ 1]
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[5, 6]
1nm, ,
[4] ,
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/ 16, X
/ 8,
X
: 1999-10-15; : 1999-11-05
2 : X 125
2 软 射线曲面镀膜厚度测量方法 Mo/ Si ,
X
1, :
, 150 ,6.7
Mo Si mm
10- 4 280 ,
Pa W
, 500 ,100 , 250 ,
V mA V
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