光电阴极多信息量测试技术及其应用研究-光学工程专业论文.docxVIP

摘 摘 要 } f I多碱，f(AAIIJJ极耳¨负电『二亲利辨(NEA J光『乜川极是I：1lj“眄j：l{I最rE要的实川 光电刚撇，它们被广泛心刚j。微光夜视技术、光辐射探测、摄像器件、半导体 器件等领域。无论足研究光电阴极的f艺还是评估光电阴极的性能，测试光电 |j月极的符种性能参数是十分畦受的，兄其是确蛾测试技术，可以仡阴极制备过 程中获得很多f‘分有用的信扈、，这是获得高性能光电阴极的重要保证。j 本文针列多碱光电阴极和NEA光电阴极研究中存在的问题，结合国家八√L 行业项目《特种光学薄膜镀制技术一高性能多碱光电阴极工艺及其监控技术研 究》和围家九血行业重点项目《互代管评估技术研究》，)r展光电【5月极多信息量 测试技术及j￡J苞用研究。}本文研究的内容如F： (1)叫顺和总结了幽内外多碱光电{j月极和NEA光电 极的发艟历I史和研 究现状，阐述了研究的日的和意义。 (2)研究了光电阴极的多信息量测试啄理。首先从薄膜光学理论出发，用 导纳法推导了多碱光电阴极的单色光反射比理论公式，然后介绍了光弹}向廊和 单色光电流的测试啄理，并提出了各个参数的具体测试方法。 (3)研制了光电阴极的多信息量测试系统。别‘系统的总体结构、光源、电 源、检测电路、数据采集模块及系统软件等各部分进行了设计和叫制。 (4)研究了在线测试多碱光电阴极的厚度的方法及厚度和光谱响应之间的 关系，探讨了控制多碱光电阴极光谱响应的途径；首次提出了用测试单色光电 流结合厚度测试确定光电子逸出深度的方法；用多信息量测试系统分别对玻璃 实验管中和像增强器中的多碱光电阴极的制备过程进行了测试，首次实现了对 单色光反目JLE、光i普响应和单色光r乜流的礼戡测试，取得了理想的实验结果， 并对制备工艺进行了分析和讨论。 (5)阐述了影响NEA光lU阴极量了产额的【当j素，介绍]’汗价NEA光f也 阴极性能特。№的参量和评似的实现途{}，设汁羊¨铆f制了NEA灿_LlⅢ极激活和评 估系统。 (6)用NEA光}乜阴极’附_．fi2评估系统刈㈨“：反剁式GaAs壤”边{j了激活 币¨坪估，苘i欠实现了NEA光f乜阴极激活过程巾的光谱响J避的n．线测试，结合 XPS表研分折技术对激活11岂进行了研究和探讨。9：现了NEA光i乜阴极fJJ14 XPS表研分折技术对激活11岂进行了研究和探讨。9：现了NEA光i乜阴极fJJ14 能评估，对网内外NEA光}乜阴极的性能进行了比较，指 了闭内神：NEA光lU 阴极研究方嘶存花的问题。． 、， f，， 关链词：多碱光电阴极，负电子亲和势光电阴极，单色光扇J比，光谱响应 单色光电流，量子产额，在线测试 ●-～ ● ABSTRACTMulti．alkali ABSTRACT Multi．alkali photocathode and negative electron affinity rNEA)photocathode are two of the most important pragmatic photocathodes at present．They are widely used in many fields such as LLL night vision，optical radiation measurement， camera device and semiconductor device Measurement of parameters of photocathode is of great importance on technique of photocathde and the evaluation of its performance Especially，valuable information can be obtained through on-line measurement which is an crucial guarantee to secure high—performance photocathodes In this dissertation，the problems existing in the research on the multi—alkali photocathode and NEA photocathode is considered and the attention is focused on on—line rl￥asurement technology of parameters of photocathode and its application． The research is also a part of the 8th five—