机械工程创新与实践课MEMS.pptVIP

MEMS加速度计/陀螺仪 安全装置 典型应用：MEMS DNA芯片 将大量探针分子固定于支持物(substrate)上，然后与标记的样品进行杂交，通过检测杂交信号的强弱进而判断样品中靶分子的数量。 基因表达分析 基因型、基因突变和多态性分析 疾病的诊断与治疗 药物研究中的应用 典型应用：MEMS 微电机 结构简单 功耗低 响应快 典型应用：MEMS 扬声器 体积小 低功耗 高保真音频信号 便于表面组装 耐高温、稳定性好 V out Silicon Back Plate Silicon diaphragm GND RF Filter V supply MEMS Acoustic Sensor ASIC 典型应用：MEMS —DMD 数字镜面显示（DMD） 原理 80万~100万面微镜 （10度，6500次/s） 改变反射方向 DLP(数字光处理)背投 微镜单元 DMD应用于投影设备 抛弃了传统意义上的光学聚焦，可随意改变焦点，调整方便 光学路径简单，体积更小，能耗降低 不会发出X射线，保护观看者健康 单片DMD技术较液晶显示也符合普通用户承受能力 上广电、LG、三星等 NEC短焦投射投影仪 通过新开发的新非球型镜面，实现了短焦投射的投影仪。NP-U310WJD分辨率为1280×800，并且搭载了DMD 数字微镜元件。NP-U3