大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响.PDF

维普资讯 第 1O卷第 5期 工 程 设 计 学 报 Vol_10No．5 2003年 1O月 JournalofEngineeringDesign Oct．2003 大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响 董林玺 ，焦继伟 ，陈 永 ，王跃林 (1．浙江大学 信息与电子工程学系，浙江 杭州 310027； 2．中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术 国家重点实验室，上海 200050) 摘 要 ：设计并制作 了一种可在大气下工作 的栅结构 电容式微机械加速度传感器 ，并对其空气滑膜 阻尼特性进行 了研究．测试结果表明该种结构机械品质因子Q值在大气压下能达到504．这种具有高Q值的栅形电容检测结构 可以应用到微机械陀螺的检测模式，它无需真空封装 ，可以在大气环境下工作，且灵敏度提高．对陀螺原型的测试 结构表 明，其在大气下检测模态的Q值可以达到 715． 关键词 ：滑膜 阻尼 ；电容检测 ；栅形结构 中圈分类号 ：TN403；TP212．12 文献标识码 ：A 文章编号 ：1006—754X(2003)05—0271—04 Effectofairslide—film dampingonm icro- mechanicalsensoratatm osphere DONG Lin—xi ，JIAOJi-wei，CHEN Yong ，WANG Yue-lin， (1．DepartmentofInformationScienceElectronicEngineering，ZhejiangUniversity，Hangzhou310027，China； 2．StateKeyLaboratoryofTransducerTechnology，ShanghaiInstituteofM icrosystem andInformationTechnology，ChineseAcademyofSciences，Shanghai200050，China) Abstract：Theauthorsdesignandfabricateanew barcapacitivemicro—mechanicalaccelerometer． Itsairslide—film dampingisstudied．ThetestresultsindicatethatthequalityfactorQ ofthebar structureaccelerometeris504．ThebarcapacitivetestingstructurehavinghighQ canbeusedin thetesingmodeofmicromechanicalgyroscopewhich isnotnecessarytobeencapsulated in the vacuum ，canworkattheatmospherehavinghighQ．Thetestingresultofthegyroscopehaving barstructureindicatethattheQ canreach715intheatmosphereenvironment． Keywords：airslide—film damping；capacitivetest；barstructure 对于传统机械 ，其周 围空气 引起 的阻尼效应一 能量供给下 ，可以得到较大 的运动 ，如微机械陀螺． 般可以忽略不计 ，因为机械部件运动速度不是很高 有 的微 电