氧化锌及银掺杂的氧化锌薄膜的紫外发光研究.docVIP

氧化锌及银掺杂的氧化锌薄膜的紫外发光研究 第39卷第4期 2009年4月 中圈绅孥教书大誊辱旅 JoURNALOFUNIVERSlTYOFSClENCEANDTECHNoLoGYOFCHINA VoI.39,No.4 Apr.2009 文章编号:O253—2778(2()()9)O4—0365—06 氧化锌及银掺杂的氧化锌薄膜的紫外发光研究 刘凯鹏,杨碚芳,严鸿维,傅正平,左健 (1.中国科学技术大学材料科学与工程系,安徽合肥230026;2.中国科学技术大学结构分析实验室,安徽合肥230026) 摘要:采用超声喷雾热解工艺,在Si(100)衬底上制备了ZnO薄膜,研究了衬底温度,喷雾速率,银 掺杂对ZnO薄膜发光性质的影响.结果表明,选择合适的沉积温度和喷雾速率能制备出具有良好 结晶质量,强紫外发射,高紫外/可见发光强度比的ZnO薄膜.未掺杂样品中,在沉积温度为 500℃,喷雾速率为0.15mL/min条件制备的ZnO薄膜的近带边紫外发光性能最好,其紫外/可见 发光强度比能够达到470.低浓度的银掺杂可以进一步提高ZnO的紫外发光性能,掺杂3浓度的 Ag可以使ZnO的紫外/可见发光强度比达到700.但过高浓度的掺杂反而会降低紫外发光强度. 关键词:氧化锌薄膜;超声喷雾热解法;光致发光;银掺杂 中图分类号:0482文献标识码:A Ultravioletemissionpropert