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基于氧化锡无压薄膜体管-物理学报
Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 19 (2012) 197201
*
†
( , 410082 )
( 2012 1 5 ; 2012 4 6 )
(ITO) . ITO
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SiO2 , ITO 20 nm , .
2
: (1.5 V), (0.13 V/dec) (21.56 cm /V ·s)
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2 6
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[2]. . ,
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, SiO2 [10,11].
. ,
, [12,13]. SiO2
. , SiH4 O2
(PECVD) ,
* (973 )(: 2007CB310500) (:
E-mail: zhaokongsheng@
c
2012 Chinese Physical Society
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