非均向性氧化锌系柱状薄膜在氮化镓发光二极体应用之研究.PDF

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2019-04-13 发布于天津
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非均向性氧化锌系柱状薄膜在氮化镓发光二极体应用之研究.PDF

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非均向性氧化锌系柱状薄膜在氮化镓发光二极体应用之研究

行狀精類行年年行立北隆參理劉理理理年 1 (ocean@ntut.edu.tw, NSC 97-2221-E-027-022) (Radio-Frequency magnetron sputtering system) (Glancing Angle Deposition, GLAD) (indium zinc oxide, IZO) (glass) GaN-based (indium zinc oxide, IZO) (transparent conductive oxide, TCO) (indium Tin Oxide, ITO) 0.6eV In O :ZnO 9:1 5.2eV[1,2] 2 3 IZO ITO ITO IZO [1-6] (Glancing Angle Deposition, GLAD) [7] (Radio-Frequency magnetron sputtering system) (IZO) GaN-based LED LED (Radio-Frequency Magnetron sputtering system) (IZO) (a) (b) (α) (β) (a) 180° (1) (2) IZO (In O 2 3 99.5% + ZnO 0.5% wt) (3)(IZO) (4) (FESEM) IZO X (XRD) (5) GaN-based GaN-based (a) (b) (a) (b)(α) (β) (IZO) Target Indium oxide (99.5%) + Zinc oxide(0.5%)wt Target diameter 5 cm Target-substrate distance 4 cm Substrate Glass slide and GaN-based LED Residual pressure 3×10-6 Torr RF power 70 W Sputtering ambient Ar (99.995%) Ar gas