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仪器仪表／检测／监控 现代制造工程2009年第3期
三自由度精密定位工作台的设计与仿真
张建瓴1，陈万银2，可欣荣1，魏德仙1，洪添胜1
(1华南农业大学南方农业机械与装备关键技术省部共建教育部重点实验室，广州510642；
2广州建兴光电科技(广州)有限公司，广州510663)
摘要：研究设计一种以压电陶瓷为驱动器，柔性铰链机构为导轨的精密定位工作台。分析和计算柔性铰链微位移放大机
构的位移放大倍数和静态刚度，建立精密定位工作台的输入输出方程，确定微定位工作台各自由度的变形量与压电陶
瓷驱动器伸缩量之间的关系。最后使用ANSYS软件对微定位工作台的运动进行仿真，给出微动平台的运动范围。
关键词：柔性铰链；微动工作台；压电陶瓷驱动器；微位移放大机构
中图分类号：THl22文献标识码：A文章编号2009)03—0039—04
andsimulationofa3·-DOF worktable
Design micro--positioning
ZHANG
Jian-lin91，CHENW锄-yin2，KEXin-ron91，WEIDe—xianl，HONGTian-shen91
of on Machineand of
(1 Laboratory Agricultural
Key KeyTechnology Equipment，Ministry
China 5
Education，SouthAgriculture lO“2，CHN；
University，GuangzIlou
2LiteOn 5
OptoTechnology(GZ)Ltd．，Guangzhou10663，CHN)
novel3-DOF drivedpzr forward．Thisworktableis flexure
Abstract：A worktable W88
micro—positioning by put guidedby hinge
mechanismandcouldrealizethe coefficientandstiffnessofthemicro-dis-
precisionpositioning．Thedisplacementmagnification
mechanismwith were 0fthe
flexure cMculated．The
placementmagnifying hiIlge input-outputequationsmicro-positioningstage
were the the variablesofthe worktableandthedeflection0f
belwesn
given．andmlatiormhip output precisionpositioning piezoe-
lectricactuatorw88established．ThefmiteelementmethodW
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