表面应力对微悬臂梁传感器本征频率的影响.pdfVIP

表面应力对微悬臂梁传感器本征频率的影响1 † 李凯，张青川 ，伍小平 中国科学技术大学，中科院材料力学行为和设计重点实验室，合肥 (230027) E-mail ：zhangqc@ 摘 要：在对微悬臂梁传感器本征频率的分析中，一般都忽略了表面应力的影响，由此计算 出的吸附质量可能是不精确的。为此，本文从表面应力和单位表面自由能的关系出发，把表 面自由能算入微悬臂梁运动的总能量中，根据哈密顿原理推导出微悬臂梁运动的控制微分方 程，得到了任意阶本征频率的解析解。分析表明：表面应力对微悬臂梁传感器本征频率的影 响是由表面弹性常数决定的, 当表面应力与表面应变无关时，这种影响可以不考虑，但在一 般情况下这种影响是不可忽略的。 关键词：表面应力, 表面自由能, 微悬臂梁, 本征频率 1. 引言 [1] [2] 原子力显微镜 发明以来，微悬臂梁传感技术 得到了迅速的发展。将微悬臂梁表面进 行特殊的修饰处理之后，其可将特定的外部信号转化为自身的机械响应（图 1 ），监测这种 响应便可实现传感。实验报道了此技术在温度探测[3] [4] [5] ,非制冷红外成像 ，化学气体检测 ， 爆炸物监测[6] [7] [8] [9] ,DNA 双链杂交 ，抗原-抗体配对结合 ,蛋白质构象变化 等涉及物理，化学 和生物领域中的应用。微悬臂梁传感器工作的方式有两种，一种是静态的：检测传感过程中 微悬臂梁产生的静态弯曲变形实现传感（图 1. a ）。另一种是动态的：检测传感过程中微悬 臂梁振动的本征频率变化实现传感（图 1. b ）。相对于静态检测方式，动态检测方法无需对 -18 系统进行标定，抗噪声能力比较强。实验已报道了用此方法可探测到10 g 量级的质量改变 [10] [11] 。在对动态检测方式的分析中，一般都不考虑表面应力对本征频率的影响，但也有报道 指出这种做法是不合适的。有关这个问题的分析虽然不多，但其对于准确的解释现有的实验 结果却是很重要的。 [11] Chen 等人 采用振弦模型进行分析：用一根两端固定的弦代替微悬臂 梁，将表面应力等效为弦的张力，通过求解弦的运动来分析表面应力对本征频率的影响。 [12] Ren 等人 建立了轴力杆的分析模型：用均匀分布在微悬臂梁内的轴向外力和力偶代替表 面应力，并在此基础上建立微悬臂梁的运动方程,通过求解梁的运动对问题进行分析。可以 看出，以上的模型中存在一些问题：振弦模型没有考虑微悬臂梁本身的抗弯刚度，并且将原 来自由端的自由边界条件换成了固定边界条件，这势必会造成与真实情况的偏离。轴力杆模 型中把表面应力当成系统的外力来处理,这是值得商榷的，因为表面本身也是系统的一部分， 应当把表面应力当成系统的内力来考虑，这和由温度引起热应力是相似的。其实，表面应力 是和单位表面自由能紧密联系在一起的，R.Shuttleworth[13]对此做过经典的分析,并给出了它 们之间的关系。本文以此为基础，从能量的角度建立微悬臂梁传感器的理论分析模型，通过 哈密顿原理推导出了系统的控制微分方程，得到了任意阶本征频率的解析解，从而揭示了表 面应力对微悬臂梁传感器本征频率影响，为准确的解释现有的实验结果提供了理论依据。 1本课题得到国家教育部博士点基金的资助。