混合自组装膜共吸附法的制备及其微摩擦学性能研究-机械电子工程专业论文.docx

万方数据 万方数据 论文审阅认定书 研究生 刘帅 在规定的学习年限内，按照研究生培养方案 的要求，完成了研究生课程的学习，成绩合格；在我的指导下完成本 学位论文,经审阅，论文中的观点、数据、表述和结构为我所认同， 论文撰写格式符合学校的相关规定，同意将本论文作为学位申请论文 送专家评审。 导师签字： 年 月 日 万方数据 万方数据 致谢 本学位论文在导师刘同冈教授的细心指导下完成的，从论文的选题、实验方 案的确定、论文的撰写得到了刘老师的精心指导和各方面的帮助。刘老师严谨的 治学态度、严于律己、宽以待人的人格魅力让我受益匪浅，在此谨向刘老师表示 衷心的感谢! 在表征实验过程中，得到了中国矿业大学分析测试中心张涛老师、魏华老师 和卢兆林老师的热心帮助；在实验的制备过程中，还得到了实验室吴健博士的大 力支持和帮助，在此由衷地感谢。同时，费菲、郭岩和赵志强等同学在论文整理 方面也给予了很大的帮助在此一并感谢。 参考文献的作者提供了丰富的学术信息，在课题的选择和研究方法中给予了 许多富有启发性的建议，在此向他们表示感谢！ 衷心地感谢我的家人，他们无尽的关怀、无私的奉献、长期的激励是我克服 困难、不断进取的源泉，如果没有他们的支持，我不可能顺利完成学业。 最后，向在百忙之中抽出时间对本文进行评审并提出宝贵意见的各位专家表 示衷心的感谢! 万方数据 万方数据 摘 要 随着自组装膜（SAMs）技术在 MEMS 器件润滑方面研究的不断深入，有机 硅烷类 SAMs 特别是由两种及两种以上硅烷分子制备的混合 SAMs 以其特有的 减摩性能得到了研究人员的广泛关注。本文对 3-氨基丙基三乙氧基（APS）和十 二烷基三甲氧基（WD-10）两种硅烷分子混合自组装膜的制备工艺及其微摩擦学 性能进行了研究。 为了获得混合自组装膜制备过程中最佳的组装工艺，利用 Materials Studio （MS）软件，分别建立 Si（1 0 0）基底、APS 和 WD-10 的分子模型，并基于 硅烷分子在基底表面的覆盖率，建立了包含 SAMs 层和硅片基底层的分子体系模 型。同时，对创建的分子体系模型进行分子动力学模拟，探究了不同组装温度和 分子浓度比等制备工艺对混合自组装膜性能的影响，为混合自组装膜的制备实验 提供理论依据。 基于 MS 软件模拟结果，在利用共吸附法自组装技术制备 APS 和 WD-10 混 合分子膜的过程中，充分考虑组装温度、分子浓度比以及组装时间、溶液的 PH 值等制备环境对其性能的影响，制定了正交试验表制备出相应的混合自组装膜。 利用 X 射线光电子能谱仪（XPS）与原子力显微镜（AFM）分别对制备好的混 合自组装膜和原始硅片表面的化学组成元素与表面形貌进行表征分析，通过结果 对比，获得混合自组装膜制备过程中的最好组装条件，确定最佳的制备工艺。 通过对混合自组装膜共吸附法的制备过程进行热力学计算，得出硅烷分子能 够自发的吸附在硅片基底表面；利用微分变化和 Maxwell 关系式，推导出混合分 子膜表面能的计算公式，发现薄膜表面能的降低有助于硅烷分子在基底组装反应 的自发进行。同时，对共吸附法制备过程中环境因素影响硅烷分子在基底表面的 组装机理进行了研究。 最后，利用摩擦磨损试验机（UMT）对三种不同浓度比混合分子膜进行宏 观摩擦实验，探究了 SAMs 技术的减摩润滑情况。同时，利用 MEMS 微摩擦试 验机对混合分子膜的微观摩擦学性能进行了测试，分析了微摩擦过程中的摩擦机 理，并对不同浓度比混合分子膜与原始硅片的摩擦系数与相对滑动速度之间的关 系进行了测量，探讨了不同载荷对混合自组装膜摩擦系数的影响。 该论文有图 50 幅，表 8 个，参考文献 79 篇。 关键词：混合自组装膜；分子模拟；制备表征；组装机理；微摩擦学 I 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 Abstract With the further study of SAMs technique on MEMS devices lubricating, the organic silane SAMs, especially the mixed SAMs consist of two or more than two kinds of silane molecules, have gained widely attention by researchers for its excellent antifriction performance. In this paper, the preparation and micro-tribological properties of APS-WD-10 mixed SAMs have been experimentally studie