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精密制造关键技术研究新进展林海波 1, 2( 1. 精密制造关键技术研究新进展 林海波 1, 2 ( 1. 浙江工业大学 机电工程学院 , 浙江 杭州 310014; 318000 ) 2. 台州职业技术学院 机电工程学院 , 浙江 台州 摘 要 :对精密制造中超精密定位技术 、位移机构 、精密位置检测技术 、二级定位技术 、误差补偿技术的进行重点论述 ,并 分析了国内外的研究进展情况 ,对我国精密加工技术在搭建相应加工系统以及刀具测量与控制 ,误差新补偿 ,加工环境 控制 ,设备的精度 ,复合加工等方面发展及尚待解决的问题提出展望 。 关 键 词 :精密制造 ;关键技术 ;新进展 中图分类号 : TG50; TH16 文献标志码 : A 文章编号 : 1005 22895 ( 2009 ) 0120001204 New Progre ss on Key Techn ique of Prec is ion M an ufa c tur in g L IN H a i2bo1 , 2 ( 1. Co llege of M echan ica l and E lec trica l Enginee ring, Zhe jiang U n ive rsity of Techno logy, H angzhou 310014 , Ch ina; 2. Co llege of M echan ica l and E lec trica l Enginee ring, Ta izhou Voca tiona l Techn ica l Co llege, Ta izhou 318000 , Ch ina) A b stra c t: The paper focused on d iscussing u ltra 2p recision position ing techno logy, d isplacem en t m echan ism , precision position 2detection techno logy, seconda ry 2position ing technology and new erro r com pensa tion in p rec ision m anufac tu ring a s we ll a s the ir re sea rch deve lopm en t a t hom e and ab road. F ina lly, som e sugge stion s and p ro sp ec ts abou t how to deve lop the indu stry of p rec ision m anufac tu ring in m ach ine too l, cu tting too l, su rvey and con tro l, e rro r2comp en sa tion, environm en t con tro l, equ ipm en t p rec ision, compound p roce ssing a sp ec ts in Ch ina we re p re sen ted and p rob lem s un so lved we re d iscu ssed. Key word s: p rec ision m anufac tu ring; key techn ique; new p rogre ss 0 引言 现代制造技术是一个国家发展经济的重要手段之 一 ,而作为现代制造技术的一个重要分支 ,精密机械制 造技术的开发与研究也受到经济发达国家的高度重视 。 精密和超精密加工技术的发展和推广 ,提高了整个机械 制造业的加工精度和技术水平 ,并普遍提高了机械产品 的质量 、性能和竞争力 。超精密加工已达到了纳米级 , 甚至是亚纳米级 (原子级 ) 。精密制造技术在超精密零 件加工 、超精密异形零件加工 、超精密光学零件加工 、微 机电系统器件加工等领域有广泛应用 [ 122 ] 。 1 精密制造中的关键技术 目前的超精密工作台定位与运动控制系统涉及机 械设计 、自动控制 、机械动力学等多学科 。其中二级定 位技术和误差补偿技术是提高精度常用的方法 ,超精 密定位与运动系统中的精密进给驱动技术 ,位置反馈 技术和定位控制技术决定了整个系统的最高定 位 精 度 ,二级定位技术则是为了解决系统大行程和高精度 之间的矛盾 ,为了提高系统的精度还需要对工作台系 统进行环境控制和误差补偿 。 1. 1 超精密定位技术 超精密定