微传感器与MEMS技术.pptx

微传感器与MEMS技术Micro-sensors and MEMS technology;Agenda;微传感器与微机电系统;微机电技术;传统的机械系统;理想的微机电系统;微机电系统;微机电系统;微机电系统的尺寸;微电子与微型机械的区别与联系;微机电技术;微机电系统的意义;MEMS;MEMS;微机电系统的发展;微机电系统的发展;微机电系统的发展;微机电系统的发展;微机电系统的发展;;微机电系统的发展;微机电系统的发展;MEMS的一些典型应用;MEMS的一些典型应用;MEMS的一些典型应用;MEMS的一些典型应用;MEMS的一些典型应用;硅旋转马达;MEMS技术;MEMS所用材料;晶体（crystal） 是有明确衍射图案的固体，其原子或分子在空间按一定规律周期重复地排列。晶体中原子或分子的排列具有三维空间的周期性，隔一定的距离重复出现，这种周期性规律是晶体结构中最基本的特征。 ;单晶体与多晶体 整块物质都由原子或分子按一定规律作周期性重复排列的晶体称为单晶体。 特征: (1)单晶体有一定的几何外形； (2) 有固定的熔点； (3) 各向异性 多晶体是众多取向晶粒的单晶的集合。多晶与单晶内部均以点阵式的周期性结构为其基础，对同一品种晶体来说，两者本质相同。不同处在于单晶体是各向异性的，多晶体则是各向同性的。 ;MEMS所用材料——单晶硅与多晶硅;MEMS所用材料——单晶硅与多晶硅;MEMS所用材料——单晶硅与多晶硅;MEMS所用材料——单晶硅与多晶硅;MEMS所用材料——氧化硅与氮化硅;MEMS所用材料——氧化硅与氮化硅;金属材料;光刻胶;微机电系统的制作工艺;微细机械加工的方法;微细机械加工的方法;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;真空镀膜仪;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;微制造概述;一些视频;Thanks!Any questions?