激光自混合干涉位移测量系统的设计-电磁场与微波技术专业论文.docxVIP

摘要摘要 摘要 摘要 激光自混合干涉效应是指激光器的输出光被外部物体反射或散射后，其中一 部分光被反馈回激光器的谐振腔，反馈光携带了外部物体的信息，与腔内光相混 合后，调制激光器输出功率的现象。作为一种新型的干涉测量技术，激光自混合 干涉测量系统以其结构简单、紧凑、易准直等优点被广泛应用于几何量、机械量 及半导体激光器参数等的测量。其中对位移的测量也是其在测量应用中的一个重 要方面。 本文主要研究基于激光自混合干涉原理测量物体位移的方法。论文采用条纹 计数法实现对物体位移的测量，并在MATLAB／Simulink环境下通过使用System Generator开发工具设计了位移测量系统，并对所设计的测量系统进行了仿真和 实验验证。主要研究内容包括以下几个方面： 首先，阐述了激光自混合干涉位移测量原理及其研究现状，介绍了激光自混 合干涉位移的几种主要测量方法；深入研究了条纹计数法测量原理；研究了激光 自混合干涉系统的理论模型，分析了系统参数对激光自混合干涉信号波形的影 响。根据理论研究结果，设计了激光自混合干涉位移测量算法。 其次，利用Xilinx公司提供的System Generator开发工具，在 MATLAB／Simulink环境下，在FPGA中完成位移测量算法设计，进行了软件和硬 件协仿真，通过对比Simulink软件仿真和硬件协仿真的结果，验证其硬件协仿 真的正确性和硬件可行性。 然后，选择Xilinx公司的Spartan-3E入门开发板作为硬件实现平台，在实验 室搭建了测量系统，对实验数据进行了预处理，并用设计的位移测量系统对实际 振动物体进行位移测量，对实验结果进行分析，验证系统的有效性和稳定性。实 验结果表明系统测量的绝对误差小于光波长的二分之一。 最后，对全文作了总结，并对该课题有待进一步研究探索的问题做了展望。 关键词：激光自混合干涉；位移测量；条纹计数法；FPGA AbstractAbstract Abstract Abstract The Self-mixing Interference(SMI)effect occurs when the light emitted from the laser is reflected or scattered from the external target，a portion of the laser output which contains the information of the target back into the laser cavity and mix with the original light in the laser cavity,resulting in the change of the output power．The SMI technique has been widely used in the measurements of semiconductor laser parameters，geometric and mechanical quantities for its significant advantages in simplicity,compactness and self-aligning．The displacement measurement which is applied in measuring is an important aspect． This thesis mainly studies the displacement measurement which iS based on the laser self-mixing interferometry effect．The fringe counting method is used to achieve the displacement measurement．And using system generator development tool the displacement measurement system iS accomplished in the Matlab／Simulink environment．The proposed methods are tested and verified by both simulations and experiments．The main tasks are as follows： First of all，the paper describes the theory of self-mixing interference displacement measurement techni