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第 二 章 文獻回顧及原理簡介
2.1 微波基本原理
微波加熱係利用磁控管產生電磁波通過介質產生離子極化及偶極
摩擦作用,因為消耗位能,產生熱能而有整體加熱現象,因此有加熱
迅速等優點 [陳-99-31] 。簡而言之,電磁波通過介質會損失部分能量,瞬間
使介質的能量提升,接著釋放累積的能量,造成分子極化與電子振盪
現象,這些運動造成分子摩擦升熱而提高介質溫度,進而造成溫度上
升的現象[陳-02-4] 。以水為例,在高頻電場加熱的非金屬材料中,或多或
少含有水分。在室溫下一千萬個水分子中就有一個離解的氫離子自動
與另一個水分子結合成離子。這兩種離子在電場作用下做加速運動,
並在運動過程中與水分子碰撞而產生熱量。而當微波作用在真空環境
下的分子時,會促進分子的轉動動能,此時分子的內能增加,稱為該
分子處於激發狀態,當激發狀態的分子回復到基態時,其多出的能量
便以熱或其他的能量形式釋放出來。
對於某特定頻率的微波而言,有些分子可與之作用,而有些分子
則否。如Fig.2.1(a),在外電場中,每個電偶極子還要受到電場力矩
的作用發生轉動,並趨向於外電場的作用方向。若外電場越強,分子
偶極子排列就越整齊,如 Fig.2. 1(b)。若外電場隨著時間改變方向,
7
則介質中的電偶極子也要跟著改變方向。
P = 0.556*10-10 2
ε'E (2-1)
:高頻電場的頻率, ε':介質的介電常數
從(2-1)說明加熱的效果首先取決於電場強度E
的大小和頻率,其次是介質自身的特性。
微波加熱是一種將電能轉換為 熱能的加熱方法,其轉換機制可由
P = σ|E|2 2
=2πεζ ε0 tanδ|E| (2-2)
P:材料單位體積所吸收的能量
σ:有效傳導率(s/m)
E:電場強度(V/m),:微波頻率(Hz)
εζ :真空之介電常數 8.86*10-12 F/m
ε0 :相對介電常數
tanδ:物質感應損失
由(2-2)可知,在介電材料內部所吸收的微波能量正比於頻率、介電常
數和電場的平方, Table 2.1 為常見物質在不同頻段之介電常數及感
應損失。微波在被吸附的材料中傳送時,其電場強度會遞減,因此其
變化情形可定義為微波從材料表面開始穿透,至其能量減為一半的距
離 D,可用(2-3)式表示
1/2
D=3λ0/8.686πtanδ(εζ/ε0) (2-3)
8
λ0 :微波在工作頻率下,於真空的波長
從式中可看出微波的加熱深度比紅外線加熱大,因為微波的波長比紅
外線大,所以紅外線加熱只是表面加熱,微波是深入到內部加熱。
而 915 MHz 的微波加熱深度會比 2450 MHz的大。
2.2 微波系統設計
一般微波裝置是使用稱為磁控管(Magnetron)的電子管來產生微
波源,經由導波管(Waveguide)傳送特定振盪模式微波至反應腔體內
部,如腔體內部有微波可吸收介質材料,則微波會對介質材料產生加
熱作用。另如透過石英玻璃或介質窗導入真空腔體內部,則微波所產
生之振盪電場將對饋入的氣體造成崩潰現象以產生電漿。以下就針對
微波系統之磁控管、腔體、導波管做一簡單介紹。
2.2.1 磁控管
如 Fig.2.2(a)所示 [李-90-112]
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