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2018/12/3 材料匠 一文看懂X-射线光电子能谱法 （上） 材料 匠 11月 14 日 搜索 复制 X-射线光 电子谱仪 （X -ray Photoelect ron Spect roscopy ，简称为X PS ） ，经常又被称为化学分析用 电 子谱 （Elect ron Spect roscopy for Chemical A nalysis ，简 称 为 ESCA ） ，是 一 种 最 主要 的表 面分 析 工 具。 X PS作为当代谱学领域 中最活跃 的分支之一 ，它除了可以根据测得 的电子结合能确定样 品的化学成份外 ， X PS最重要 的应用在于确定元素 的化合状态 。X PS可以分析导体 、半导体甚至绝缘体表面 的价态 ，这也是 X PS的一大特色 ，是 区别于其它表面分析方法的主要特点。此外 ，配合离子束剥离技术和变角X PS技术 ，还 可以进行薄膜材料的深度分析和界面分析。 本文分为上下两篇 ，分别介绍了X PS基本原理、仪器结构和使用方法、实验技术、实验实例 四个部分。 1、基本原理 X PS方法的理论基础是爱 因斯坦光 电定律 。用一束具有一定能量的X射线照射 固体样 品 ，入射光子与样 品相 互作用 ，光子被吸收而将其能量转移给原子的某一壳层上被束缚的电子 ，此时电子把所得能量的一部分用来 克服结合能和功 函数 ，余下的能量作为它的动能而发射 出来 ，成为光电子 ，这个过程就是光电效应。 该过程可用公式表示 ：h γ E +E +E   （1） k b r hγ ：X光子的能量 （h为普朗克 常数 ，γ为光 的频率 ）；E ：光 电子的能量 ；E ：电子 的结合能 ；E ：原 子 k b r 的反冲能量。 其 中E 很小 ，可以忽 略。对于 固体样 品 ，计算结合能 的参考点不是选真空 中的静止 电子 ，而是选用费米能 r 级 ，由内层电子跃迁到费米能级消耗的能量为结合能E ，由费米能级进入真空成为 自由电子所需的能量为功 b 函数Φ ，剩余的能量成为 自由电子的动能Ek。 公式 （1）还可表示为 ： E h γ- E - Φ k b E h γ- E - Φ b k /s?__biz=MzU4NDY3ODkzNA mid=2247484727idx=2sn=305c9cbe5af2e806c4fb04ef730e6c99chksm=fd976e4e… 1/6 2018/12/3 材料匠 仪器材料的功 函数Φ是一个定值 （谱仪的功 函数 ） ，约为4eV ，入射光子能量 已知 ，这样 ，如果测 出电子的 动能 Ek ，便可得到固体样 品电子的结合能 。原子能级 中电子的结合能 (Binding Energy ，简称为 B.E.) 。 其 值等于把电子从所在的能级转移到 Fermi能级时所需的能量。 在X PS分析 中 ，由于采用的X射线激发源的能量较高 ，不仅可以激发 出原子价轨道 中的价 电子 ，还可以激发 出芯能级上的内层轨道电子 ，其 出射的光电子能量仅与入射光子的能量 （即辐射源能量 ）及原子轨道结合能 有关 。因此 ，对于特定 的单色激发源和特定 的原子轨道 ，此 时其光 电子能量是特征 的。当固定激发源能量 时 ，其光电子能量仅与元素的种类和所电离激发的原子轨道有关。因此 ，我们可以根据光电子的结合能 ，判 断样品中元素的组成 ，定性分析除H和 He （因为它们没有 内层能级 ）之外的全部元素。 X光 电子能谱法作为表面分析方法 ，提供 的是样 品表面的元素含量与形态 ，而不是样 品整体 的成分 。X PS其 表面采样深度 （d =