基于六西格玛提高纯水制备系统产水量的研究-中原工学院学报.PDFVIP

第 卷第 期 中原工学院学报 ２９ ４ Ｖｏｌ．２９ Ｎｏ．４ 　 年 月 ， ２０１８ ８ ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＺＨＯＮＧＹＵＡＮＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ Ａｕ．２０１８ ｇ 文章编号： （ ） １６７１－６９０６２０１８０４－００４４－０５ 　　 基于六西格玛提高纯水制备系统产水量的研究 沈晓来 （中原工学院 机电学院，河南 郑州 ４５０００７） 摘 要： 运用六西格玛方法对影响ＲＯ纯水制备系统产水量的因素进行了分析。通过要因分析、回归分析和残差分析 　 　 等数据分析方法，确定影响纯水产量的关键因素为进水浊度、浓水流量、一级压差等，并分析了它们对纯水产量的影响程 度。通过采取相关改进和控制措施，稳定提高了纯水制备系统的产水量，达到少开纯水制备机组，降低生产成本的目的。 关 键 词： ＲＯ纯水；六西格玛；回归分析 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ Ｆ４０７．６ Ａ ＤＯＩ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ．１６７１－６９０６．２０１８．０４．００９ 　 　　　 　 　　　 ｊ 在微电子工业生产中广泛使用的生产用纯水是由 　　 定义阶段（） １．１ Ｄ 　 工艺方法制备的。 工艺是反渗透工艺，即用足 ＲＯ ＲＯ 定义阶段是陈述问题的阶段，是本文研究的起点， 够的压力使溶液中的溶剂（水）通过反渗透膜（半透膜） 也是至关重要的一步。该阶段要确定研究目标，设置 与溶质（盐分等）分离，溶剂（水）的流动方向与渗透方 ［］ ４ 合理的目标范围 ，描述流程，确认流程的输出是什 ［］ １ 向相反 。 么，影响输出的因素是什么，进而挖掘出影响输出的关 本文研究的ＲＯ纯水制备系统（以下简称 ＲＯ系 键因素。 统）原有 个机组，每组月平均产水量为 ３／。企 ７ ５３ｍ ｈ 本文研究的ＲＯ系统有多个运行机组，每组平均 业要求在运行动力（外界压力）不增加的前提下，通过 产水量为 ３／。为满足终端用水量 ３／，