超快激光精密加工.pdf

超快激光精密加工 ——大有可为的蓝海市场 超快激光的基本认识 超短脉冲激光即是我们所说的超快激光，包括达到 ps （10－12s ）、fs （10－15s ）量级的脉冲激光 特点：极短脉宽，极高峰值功率 以100μJ单脉冲能量，10ps脉宽的激光器为例，峰值功率可以达到 10MW （1x107W ） 超快激光的基本认识 ——超快激光与长脉冲、连续激光的优势区别 超快激光相较于长脉冲激光、连续激光器的优势： 1.冷加工，极小的热影响区 2.无残渣 3.对材料表面的冲击极小 超快激光的基本认识 超快激光系统的组成部分 泵浦 锁模介质 色散补偿 全反镜 增益介质 输出镜 腔模 λn = 2 L/n ∆ f = c/2 L 激光精密加工技术及应用 超快激光 超快激光 激光内部改质加工工艺 贯穿式—成丝 、贝塞尔加工工艺 超快、长脉冲、CO2激光 光纤切割头 连续、长脉冲 样品 治具 工作台 激光多次烧蚀消融加工工艺 激光单次烧蚀消融加工工艺 激光技术应用的比对 工艺 成丝切割 单次熔化切割 多次雕刻消融 内部划线切割 材料 玻璃、蓝宝石、陶瓷 蓝宝石、陶瓷 玻璃、蓝宝石 部分玻璃、蓝宝石、硅 晶片 激光器 532nm-ps/1064nm- 1030nm连续、QCW 355/532/1064ns/ps/fs 532nm/1064nm-ps/fs ps/fs 长脉冲 厚度范围 1.2mm贝塞尔光路 1mm 1mm 1mm （1.2mm成丝或DOE） 锥度 零锥度 接近零锥度 10度 接近零锥度 加工速度 300mm/s 5—30mm/s(0.5mm ＞500mm/s(0.1厚玻璃） ＞400mm