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电子散斑干涉测量技术 于长淞 2008.01.08 主要内容 散斑剪切干涉的形成 剪切干涉就是采取某种光学装置，使同一物体在像面上产生两个像，这两个像之间有一个错位（称为剪切量），当物面用相干光照明时，这两个像的重叠部分将发生干涉。 散斑技术的起源和发展 电子剪切散斑干涉仪的原理 电子剪切散斑干涉测量技术是以激光散斑作为被测物场变化信息的载体，利用被测物体在受激光照射后产生干涉散斑场的相关条纹来检测相位变化 利用图像传感器和精确的相移技术，将变化过程中的光学信息实时地记录下来，由计算机软件处理后显示干涉条纹图，通过数值计算将这些条纹解析为熟知的物理量 电子剪切散斑干涉仪的应用 散斑干涉技术的仪器化实用化研究 散斑干涉仪伴随着散斑干涉术的发展也逐渐发展起来，研究热点一方面是仪器的集成化、便携化方向，另一方面是仪器的多功能化 国际上，美、英、德等发达国家相继推出了一系列电子散斑干涉仪，可分别应用于应力和振动分析及无损检测领域。如挪威的VibroMap 1000激光测振系统。德国Ettemeyer公司是专业的ESPI仪器研发制造商，开发出了一系列的测试系统，已广泛用于航空、航天及汽车等领域 电子散斑干涉技术发展趋势 电子散斑剪切干涉仪实物图 干涉仪测量物体变形的实验研究 在矩形平板不同位置加力所得散斑剪切干涉条纹图序列 干涉仪测量物体变形的实验研究 干涉条纹图采用位相提取算法所得位相分布 参考文献 [1]刘龙，梦光.电子散斑干涉无损检测技术的应用现状，无损检测，2006,TG115 [2]景超，电子散斑剪切–相移干涉术的研究，天津大学博士学位论文，2006 [3]Bhaduri B., Mohan N. K., Kothiyal M. P., “A Dual-function ESPI System for the Measurement of Out-of-plane Displacement and Slope”, Optics and Lasers in Engineering, 2006, V44(6) [4]左勇，张月平，蒋芝兰.压电陶瓷微位移系统的变参数PID闭环控制方法，计测技术，2006，V26(2) [5]陈振翌,马铁军,陈育彬,李金贤. 剪切电子散斑干涉技术在轮胎缺陷检测中的应用,橡胶工业，2007，TQ330 [6]张芳，电子散斑干涉条纹图的偏微分方程处理方法及相位提取，天津大学硕士学位论文，2006 散斑剪切干涉的形成 散斑技术的起源和发展 电子散斑剪切干涉仪的原理 散斑干涉技术的仪器化实用化研究 电子散斑干涉技术发展趋势 七十年代 八十年代 六十年代 He-Ne激光器问世之后，散斑现象引起人们的关注，逐渐发现散斑实质上是散射介质某些信息的携带者，反映激光照明区内物体及传播介质的物理性质和动态变化 在实验中发现散斑具有可测的强度和确定的位相分布，进而提出了散斑照像术，为散斑的应用奠定了基础 随着计算机技术、电子技术及数字图像采集和处理技术的飞速发展，从而产生了电子散斑干涉技术，其抗干扰技术有了很大提高 1 广泛用于物体振动测量、轮廓测量和模态分析 2 用于测量高温物体的位移和热变形 3 在无损检测方面也取得了很多成功的应用 相移技术 由原来的计量条纹的级数发展为计量条纹的位相使测量精度大大提高 小波分析 针对散斑条纹图像中存在的颗粒性随机噪声，将小波分析迭代滤波算法等应用到干涉条纹图的后期处理中 多脉冲 多脉冲激光系统具有较高的防震抗干扰性和较好的工程实用性，为电子散斑干涉测量实用化迈出了关键的一步 红光激光器 剪切反射镜 绿光激光器 平移反射镜 步进电机驱动器 CCD 镜头 棱镜