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第32卷第5期 光学仪器 V01．32，No．5
2010年lO月 oPTICALINSTRUMENTS 0ctober。2010
文章编号：1005—5630(2010)05一0084一05
一种设计真空紫外高反膜的新方法*
刘兴悦，戴佳鑫，干蜀毅
(合肥工业大学机械与汽车工程学院，安徽合肥230009)
摘要：在真空紫外强吸收波段采用“逐层”(LBL)设计法。通过阐述“逐层”设计的理论基础和膜
材选择的基本原则，运用MatLab软件，用解析加复平面作图法设计了对应于50～200姗波段
的高反膜系。以熔融石英基底上硅、碳组成的膜系为例，用这种设计方法获得的平均反射率最
高可达64％。对比常规周期多层膜，这种设计法可以明显地提高强吸收波段的反射率。
关键词：真空紫外；高反膜；膜系设计；反射率
43 1005—5630．2010．05．018
中图分类号：TB 文献标识码：A doi：10．3969／j．issn
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