切割裂片基础工艺和技术.pptVIP

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2019-04-29 发布于安徽
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切割裂片基础工艺和技术.ppt

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各種刀輪切割強度對比(資料來源:Corning) 真圓刀與penett刀輪(實驗面板:corning E2k,T=0.63mm單板panel) 刀輪的選擇 Penett刀輪切割強度分布均勻,齒數越多強度越大鑽石刀輪切割強度分布不均勻,容易出現超低與超高的點,不同的刀輪加工方式對強度影響比較大刀輪角度的選擇刀輪的選擇 Summary: 齒數越少切割深度越深,可切割面板的厚度越大,所選用的刀輪角度就應大一些; 一般micro penett用來切割單板T=0.4mm以下的面板. BEOL依據實際生產狀況，0.4T面板使用1050X360齒刀輪,與廠商建議有點差異. 切割刀輪使用壽命的評估(for SEC) Final Grade S: Strongly A: Recommended B: Average C: Required to improve F: Prohibited 隨著刀輪的磨耗,bending 10% failure load有下降趨勢；刀輪長度達到4000m時，final grade未達到客戶Samsung的要求。 SS spec: final grade=A Scribe quality monitor by scribing length The relation between lateral crack and scribing distance Scribing Pressure(00/900): 0.75/0.75Kgf/cm2 Scribing Set depth: 0.12mm Scribing Speed(00/900): 150/250mm/s Scribing Pressure(00/900): 0.80/0.80Kgf/cm2 Scribing Set depth: 0.12mm Scribing Speed(00/900): 150/250mm/s Scribing Pressure(00/900): 0.85/0.85Kgf/cm2 Scribing Set depth: 0.12mm Scribing Speed(00/900): 150/250mm/s 切割刀輪使用壽命的評估(for SEC) 實際生產過程中發現，隨著刀輪的磨耗,若保證產品直接完全切開，切割壓力需要調整；刀輪的磨耗以及切割壓力的增大，surface crack有逐漸惡化的趨勢。 Scribing distance (m) 0 1000 2000 3000 Surface crack TFT 6.38um 5.18um 6.78um 7.35um CF 5.19um 5.36um 6.49um 6.72um Parameter Pressure 0.75 kgf/cm2 0.75 kgf/cm2 0.75 kgf/cm2 0.80 kgf/cm2 Depth 0.12mm 0.12mm 0.12mm 0.12mm Speed 150/250mm/s 150/250mm/s 150/250mm/s 150/250mm/s Bending Result X-Dir A A A A Y-Dir S S A A 1.77” Scribing quality monitor for 1st 30K Sampling 40pcs per 1000m Criteria: bending grade=A , lateral crack 10 um 切割刀輪使用壽命的評估(for SEC) 1.77” Scribing quality monitor for 1st 30K Sampling 40pcs per 1000m Scribing distance (m) 4000 5000 6000 Surface crack TFT 6.13um 7.25um 7.83um CF 6.78um 6.59um 6.83um Parameter Pressure 0.80 kgf/cm2 0.80 kgf/cm2 0.85 kgf/cm2 Depth 0.12mm 0.12mm 0.12mm Speed 150/250mm/s 150/250mm/s 150/250mm/s Bending Result X-Dir B A B Y-Dir B C B 切割刀輪使用壽命的評估(for SEC) 依據SEC的bending criteria,當刀輪長度達到4000m時，切割品質已經不能滿足客戶要求，為保證產品品質，取刀輪的切割壽命為3000m(廠商建議為5000m). 隨著刀輪的磨耗,bending shape值及strength值均有減小; 刀輪實際切割長度=6000m時,玻璃failure