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第39卷第4期 光学仪器 V01．39，No．4
2017年8月OPTICALINSTRUMENTS August，2017
文章编号：1005—5630(2017)04一0070一07
等离子体诊断用成像型软X射线三色谱仪设计
贺亚男，李亚冉，穆宝忠
(同济大学物理科学与工程学院，上海200092)
摘要：围绕激光惯性约束聚变研究中内爆靶丸的辐射流诊断需求，设计了一种兼顾空间成像
功能的三色软X射线谱仪。该谱仪的设计中心能点为2lOeV、680eV和800eV，能谱分辨率
E／△E为5～10。采用X射线掠入射光学结构，实现了三个能点的一维聚焦成像，在lmm视场
内空间分辨率优于10肚m。采用X射线周期多层膜，获得了三个能区的能谱响应，多层膜测试
结果满足设计要求。以光学设计和多层膜为基础，建立了系统的光线追迹模型，分析了可控的
空间位置误差和瞄准误差对系统光谱分辨和空间分辨的影响，为装调方案及瞄准方法设计提供
了精度依据。该谱仪与条纹相机结合，可用于我国强激光装置上的等离子体诊断实验。
关键词：三色谱仪；X射线多层膜；掠入射成像；等离子体诊断
744 1005—5630．2017．04．012
中图分类号：TH 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn
The of tri—color
soft：妊ray
design imagingspectrometer
for
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HE
Yanan，LIYaran，MU
Baozhong
(sch00lof Scienceand
Physics UniVersity，Shanghai200092，China)
EngineeriTlg，Tbngji
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