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第34卷第2期 光学仪器 V01．34，No．2
2012年4月 0PTICALINSTRUMENTS April，2012
文章编号：1005—5630(2012)02一0031一06
紫外曝光机均匀照明系统的设计与研究*
刘鹏飞，杨 波，陆侃
(上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海20D093)
摘要：紫外曝光机是印刷线路板(PcB)制作工艺中的重要设备，P(、B高密度、微细化的发展趋
势，对曝光机光照均匀性，平行性的要求越来越高。为了找出可以更好满足市场需求的曝光
机光学系统，运用非成像光学方法，对两种不同光学结构曝光机的光斑均匀性进行了对比分
析。通过实验可以看出，在通光孔径较大的光学系统中，复眼透镜阵列和方棒对改善系统光
照均匀性以及能量利用率的作用，在实验基础上对如何选择光学系统的匀光器件做了对比性
阐述。
关键词：印刷线路板(PCB)；紫外曝光机；复眼；方棒
2012．02．007
中图分类号：O434．2文献标识码：Adoi：10．3969／j．ism
andresearehontheuniformillmnination
Design
OfUV machine
system exposure
BD，LUK以n
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(Sch001of Electricaland Shanghalfor
Opncal computerEngin代nng．Unlverslty。f
Sd锄ceaIld 200093，China)
Teclmology，Shangh¨i
machineisan inthe circllitboard
Abstract：Ultraviolet important printed
exposurc equipment
The andminiatureofPCBisdemanding
(PCB)manufactruringprocess． highdensity higher
Inorderto abetter to
levelofilluminationand find
uniforInityparaUeldegree． opticalsystem
meetthe of machinemarket，methodof is
requirementexposure nonimagingopticsadopted
the effectsbetween of macllinewith
heret。make of
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