扫描电子显微镜的样品制备技术课件.pptVIP

第六章 扫描电子显微镜的样品制备技术;6.1 SEM样品制备的基本要求;对试样的要求试样可以是块状或粉末颗粒，试样大小要适合仪器专用样品座的尺寸，不能过大。样品座尺寸各仪器不尽相同，一般小的样品座为 Φ 3 ～ 5mm ，大的样品座为 Φ 30 ～ 50mm ，以分别用来放置不同大小的试样，样品的高度也有一定的限制，一般在 5 ～ 10mm 左右。 表面受到污染的试样，要在不破坏试样表面结构的前提下进行适当清洗，然后干燥。 新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，以免破坏断口或表面的结构状态。有些试样的表面、断口需要进行适当的侵蚀，才能暴露某些结构细节，则在侵蚀后应将表面或断口清洗干净，然后烘干。 要求在真空中能保持稳定，含有水分的试样应先干燥除去水分。 对磁性试样要预先去磁，以免观察时电子束受到磁场的影响。 要求导电，不导电的观察前进行导电处理。;块状试样扫描电镜的试样制备是比较简便的。对于块状导电材料，除了大小要适合仪器样品座尺寸外，基本上不需要进行什么制备，用导电胶把试样粘结在样品座上，即可放在扫描电镜中观察。对于块状的非导电或导电性较差的材料，要先进行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累，影响图象质量。并可防止试样的热损伤。;6.1.3粉体试样的制备;在制备SEM样品时，必须掌握以下原则： (1)每一操作过程，都应注意防止样品的污染和损伤，使被观察的样品尽可能保持原有的外貌和微细结构； (2)去除样品内水份，以利于维持SEM的真空度和防止镜筒的污染。但在脱水和干燥处理时，要尽量减少避免样品体积变小和收缩变形等人工假象；　　 (3)降低样品表面的电阻率，增加样品的导电性能，以提高二次电子发射率，建立适度的反差和减少样品的充放电效应；　 (4)观察组织细胞的表面或内部微结构，应注意和保护样品的观察面。 ;6.1.4常规生物样品制备技术;⑥漂洗 用缓冲液洗去未结合的锇酸。 ⑦脱水 用30％、50％、70％、80％、90％、95％、100％、100％丙酮或乙醇溶液各10-15分钟，大于1mm的样品可脱水10～20分钟。 ⑧干燥 一般情况下，可把脱水后的样品放在空气中自然干燥或45℃热风吹干。有些研究工作要求尽量完好保存样品表面的精细结构，可用真空干燥法、冷冻干燥法和临界点干燥法等使样品干燥。这些方法都比空气干燥法效果好，其中临界点干燥法优点多，多被研究工作者采用。 ⑨导电 ：离子溅射、真空镀膜或导电染色处理;6.2.1固定与脱水;6.2.2 样品的干燥：;3 临界点干燥：目前最理想的简单的干燥法。临界点干燥仪利用物质在临界状态下液体表面张力逐渐被消除的特性，减少样品干燥过程中的变形和收缩，从而达到样品的完全干燥。 4 冷冻干燥：在此过程中，样品中的水分直接由冰态升华为气态，样品也不受表面张力的影响。但这种方法的不足之处是样品中的水分易形成冰晶而破坏超微结构。 ;6.2.3 临界点干燥;常用几种干燥剂的临界值;临界点干燥法原理;液态CO2临界点干燥法的过程;此时通过观察窗观察室内液体CO2应浸没样品(如果不能浸没样品，说明耐压室温度高，应降温后再行操作)，关闭进气阀，停放约1～2小时以完成CO2的置换过程。此时压力约为5.6×1０6～6.4×１０6Pa(57～65Kgf/cm2)。 加热：用60℃温水或自动调温装置将耐压室加温，压力很快增加，使压力维持在1.11×１０7Pa(110Kgf/cm2)左右。5～10分钟，CO2全部汽化，从观察窗可看到其汽化过程是：液面上升→界面模糊→完全混浊→透亮无液体。这时的压力约为9.3×１０6Pa (95Kgf/cm2)。 排气：在排气管口放一温水杯，这样既可观察排出的气泡数以控制排气速度，又可避免排气管路产生干冰而造成堵塞。慢慢打开排气阀，使压力缓慢下降，并维持耐压室温度在50℃左右。排气速度不可太快，否则会损伤样品，一般控制在10泡/秒左右［约每分钟4×１０5Pa～9.8×１０ 5Pa(5～10Kgf/cm2)的降压速度］。大约经一个多小时的排气后，压力表指示为“零”，排气口无气泡时，即可打开耐压室，取出已干燥好的样品。 ;临界点干燥仪;临界点干燥的失误和解决办法;2.样品室内压力达不到要求： （1）注入液态二氧化碳量过少：可能会使样品位于二氧化碳的气液面交界处，样品受到液体二氧化碳表面张力的作用，尽管比水的表面张力小的多，但仍会影响样品的精细结构。 （2）样品室密闭不良：这可能是因为垫圈老化，有裂纹，或垫圈下有异物等。 3.注入液体二氧化碳困难：主要因为样品室的温度高，没有事先降温。夏季室温高于30度时更易造成注入困难。降温的办法有两种：一是用少许液体二氧化碳充盈2-3次，再放掉气体的二氧化碳；二是用控温钮调制低于室温10度。;6.2.4 冷冻干燥法;一直接