集成X射线探测器设计及光光转换薄膜工艺研究-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地 方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含 为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明 确的说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁 盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文 的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或 扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 万方数据 万方数据 摘要 摘 要 X 射线探测技术在科研、生产、生活中的应用越来越广泛，其中转换屏的性 能和图像传感器的参数是影响探测器性能的两个关键性因素。本文针对 CsI:Tl 为 转换屏的 X 射线探测器，以提高 CsI:Tl 薄膜的光光转换效率和制备工艺为主要目 的，研究了 CsI:Tl 薄膜探测 X 射线的性能和工艺参数对薄膜的影响，并设计了一 种以 CsI:Tl 为转换屏，CCD 为荧光接收器的集成化 X 射线探测器。 在薄膜的光光转换效率研究上，通过建立各种物理模型，利用 X 射线的荧光 透过特性以及 CsI:Tl 薄膜的性质，计算出荧光透过率和空间分辨率跟各参数的关 系，并从实际制备的工艺局限着手，分析了在 CsI 薄膜连续性和密度不够理想的情 况下，X 射线光子和可见光光子在薄膜中的传播特性。得出的结论有：入射 X 射 线光子的能量越低，CsI:Tl 薄膜的最佳厚度越薄；低能情况下，CsI:Tl 薄膜等效厚 度在 10 ?m —80 ?m 时，X 射线的荧光透过率较高；就实际制备的理想厚度的薄膜 来说，连续性越好、致密度越高，薄膜的荧光透过率越高。 在工艺上，针对 CsI:Tl 薄膜的制备进行了相关研究。首先，采用 Matlab 软件 模拟仿真了工艺参数对薄膜成核的影响。然后，通过真空蒸发沉积实验制备了多 组 CsI:Tl 薄膜，并使用光学金相显微镜对薄膜的生长情况和结晶状态进行了观测， 并与理论计算结果进行了对比，分析了真空度、衬底温度、衬底材料、薄膜厚度 对 CsI:Tl 薄膜微结构的影响。得到的结论是，真空度越高，衬底温度越低，衬底 材料为晶体结构，薄膜厚度越薄时，CsI:Tl 薄膜的结晶质量越好。 关键词：X 射线探测，CsI:Tl 薄膜，荧光透过率，薄膜制备工艺 I ABSTRACT ABSTRACT Technology of X-ray detection largely used in research, production and life, including the two key factors, performance of conversion screen and performance parameters of image sensor detector. To improve the CsI:Tl film optical conversion efficiency and the preparation process, this thesis, used for the conversion of X-ray detector panel., X-ray detection performance and the impact of process parameters on film. It designed a kind of integrated fluorescence X-ray detector by CCD receiver, which based on CsI:Tl conversion screen. Based on the optical conversion efficiency of the film, it calculate the transmittance and spatial resolution of fluorescence parameters with the relationship and limitations from the actual preparation process, analyzes the continuity and density of the CsI film less than ideal circumstances,