基于测量基准变换的增量直线式时栅传感器研究.pdfVIP

第３８卷　第１期 仪 器 仪 表 学 报 Ｖｏｌ３８Ｎｏ１ ２０１７年１月 ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｊａｎ．２０１７ 基于测量基准变换的增量直线式时栅传感器研究 陈自然，刘小康，杨继森，李　钢 （重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心 时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室　重庆　４０００５４） 摘　要：针对目前绝对直线场式时栅无法满足全闭环数控系统要求的增量式直线位移反馈的问题，采用测量基准转换方式从时 间域的角度处理绝对直线场式时栅的空间位移信息，运用时间序列算法分析绝对式时栅采样数据序列的内在相关性，建立自适 应递推算法。通过时间触发采样将时栅传感器过去的测量数据作为样本集，递推时栅下一个采样时刻的位移，在下一个采样周 期内将直线时栅的绝对位移代表的增量式时间脉冲通过脉宽调制的方式连续发出，实现绝对式直线时栅到增量式直线时栅位 移传感器的转换设计。实验表明在７６．６０４ｍｍ的范围内增量式直线时栅位移传感器达到±２ ｍ的测量精度。此研究可将原 μ 绝对式直线时栅位移传感器运用于全闭环增量式直线运动数控系统，具有重要现实意义。 关键词：增量式；时栅；直线式位移测量；测量基准 中图分类号：ＴＨ７　　　文献标识码：Ａ　　国家标准学科分类代码：４６０．４０３０ Ｒｅｓｅａｒｃｈｏｎｉｎｃｒｅｍｅｎｔａｌｌｉｎｅａｒｔｉｍｅｇｒａｔｉｎｇｓｅｎｓｏｒｂａｓｅｄｏｎ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｔａｎｄａｒｄｔｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎ ＣｈｅｎＺｉｒａｎ，ＬｉｕＸｉａｏｋａｎｇ，ＹａｎｇＪｉｓｅｎ，ＬｉＧａｎｇ （ＣｈｏｎｇｑｉｎｇＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＴｉｍｅＧｒａｔｉｎｇＳｅｎｓｉｎｇａｎｄＡｄｖａｎｃｅｄＴｅｓｔｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌ ＴｅｓｔｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄＥｑｕｉｐｍｅｎｔ，ＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎ，ＣｈｏｎｇｑｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｃｈｏｎｇｑｉｎｇ４０００５４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｉｍｉｎｇａｔｔｈｅｐｒｏｂｌｅｍｓｔｈａｔｃｕｒｒｅｎｔａｂｓｏｌｕｔｅｌｉｎｅａｒｍａｇｎｅｔｉｃｆｉｅｌｄｔｙｐｅｔｉｍｅｇｒａｔｉｎｇｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｓｅｎｓｏｒｓｄｏｎｏｔｐｒｏｖｉｄｅ ｉｎｃｒｅｍｅｎｔａｌｌｉｎｅａｒｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｆｅｅｄｂａｃｋｆｏｒｆｕｌｌｃｌｏｓｅｄｌｏｏｐｎｕｍｅｒｉｃａｌｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍ，ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｔａｎｄａｒｄ ｔｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｉｓａｄｏｐｔｅｄｔｏｐｒｏｃｅｓｓｔｈｅｓｐａｔｉａｌｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆｔｈｅａｂｓｏｌｕｔｅｌｉｎｅａｒｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｍａｇｎｅｔｉｃｆｉｅｌｄｔｙｐｅ ｔｉｍｅｇｒａｔｉｎｇｓｅｎｓｏｒｓｉｎｔｉｍｅｄｏｍａｉｎ．Ｔｈｅｉｎｈｅｒｅｎｔｒｅｌｅｖａｎｔｏｆｔｈｅｓａｍｐｌｉｎｇｄａｔａｓｅｒｉｅｓｏｆｔｈｅａｂｓｏｌｕｔｅｌｉｎｅａｒｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｔｉｍｅｇｒａｔｉｎｇ ｓｅｎｓｏｒｉｓａｎａｌｙｚｅｄｕｓｉｎｇｔｉｍｅｓｅｒｉｅｓａｌｇｏｒｉｔｈｍ，ａｎｄｔｈｅｓｅｌｆａｄａｐｔｉｖｅｒｅｃｕｒｓｉｖｅａｌｇｏｒｉｔｈｍｉｓｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄ．Ｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｄｌｉｎｅａｒａｂｓｏｌｕｔｅ ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｄａｔａｓａｍｐｌｅｄｉｎｔｉｍｅｔｒｉｇｇｅｒｅｄｐａｔｔｅｒｎａｒｅｅｍｐｌｏｙｅｄａｓｓａｍｐｌｅｓｅｔ，ａｎｄｔｈｅａｂｓｏｌｕｔｅｌｉｎｅａｒｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｆｏｒｔｈｅｎｅｘｔ ｓａｍｐｌｉｎｇｐｅｒｉｏｄｉｓｃａｌｃｕｌａｔｅｄｔｈｒｏｕｇｈｒｅｃｕｒｓｉｏｎ．Ｔｈｅｎｔｈｅｉｎｃｒｅｍｅｎ