原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
( )
第 29 卷 第 3 期 青 岛 科 技 大 学 学 报 自然科学版 Vol. 29 No. 3
( )
2008 年 6 月 Journal of Qingdao Univer sit y of Science and Technology Natural Science Edition J un. 2008
文章编号 (2008)
非晶态 ZnO 薄膜的微结构及光学性质
徐林华 , 李相银
(南京理工大学 应用物理系 ,江苏 南京 210094) n
摘 要 : 采用溶胶凝胶法在玻璃衬底上制备了非晶态 ZnO 薄膜。用 X 射线衍射仪
( ) ( )
XRD 、扫描探针显微镜 SPM 研究了非晶态 ZnO 薄膜的晶相和微观形貌 ,用紫外可见
c
光光度计和荧光光度计研究了非晶态 ZnO 薄膜的光学特性。测试结果表明 , XRD 谱没
.
有任何衍射峰 ,表明所制备的 ZnO 薄膜确实是非晶态 ;非晶态 ZnO 薄膜的表面平整、光
滑 ,表面粗糙度均值为 15 nm ;在可见光区有很高的透过率 ,最高值为 90 % ;光学带隙为
339 eV ;其 PL 谱显示在紫外区 384 nm 处有较强的紫外发射。
关键词 : 非晶态 ZnO 薄膜 ;溶胶凝胶法 ;透射率 ;光学带隙 ;紫外发射
m
中图分类号: O 484 文献标识码 : A o
Microstructure and Optical Properties of Amorphous ZnO Thin Film
c
.
XU Linhua , L I Xiangyin
(Depart ment of Applied Physics , Nanjing University of Science and Technology , Nanjing 210094 ,China)
Abstract :In t his paper , amorp hous ZnO t hin film was prepared by solgel met hod on
m
glass substrate in order to st udy optical properties. The crystalline p hase and micro
struct ure of amorp hous ZnO t hin film were investigated by XRD and SPM. The optical
p
properties were measured by UVvisible spectrop hotometer and fluor
文档评论（0）