面阵CCD在脉冲激光辐照下的损伤研究-光学专业毕业论文.docxVIP

摘 摘 要 电荷耦合器件CCD(Charge Coupled Devices)，作为一种新型半导体光电器件， 以其体积小、质量轻、灵敏度高、低功耗等诸多优点，已经被广泛应用于摄 像、侦查、微光夜视、遥感、传真等诸多领域。在光电对抗过程中，CCD探测 器作为光电装备的核心装置，其极易受到激光的干扰与破坏，导致系统瘫痪，带来 巨大的损失。因此，对激光辐照CCD探测器的损伤研究具有十分重要的意义。 本文选用Mintron73xp摄像CCD为研究对象，用波长为1．06um，脉冲峰值半 高全宽(FWHM)10ns的调Q脉冲激光分别以不同的能量辐照CCD探测器，利用 CCD实时记录其自身损伤情况，得出了相应的损伤阈值，并对各个阶段的损伤机 理进行了全面的分析。针对激光辐照下CCD光敏区前窗口玻璃透过率的测量，本 文还提出了一种光学玻璃微区损伤的测量装置和方法，通过与理论数据进行比对， 证实此方法现实可行，操作简便，克服了传统方法误差较大的问题，是一种测量微 小面元透过率的有效方法。 关键词：面阵CCD 脉冲激光 损伤透过率 测量 ABSTRACTCharge．coupled ABSTRACT Charge．coupled device oCD，to be a new type of semiconductor optoelec仃oIlic devices， it haS many advalltages， like small size，1ight weight，11igh sensitiVi吼 low power cons啪ption and so on．It has been widely used in c锄eras，detection，11ight vision，remote sensing，fax，aIld o也er areaS．In the optoelectromc countemleasures process，aCD detector devices，aS me core of opticaJ equipment，and its higlllyⅦlnerable to disturbance and des仇lction of the laser，and leading to system failures，causing huge losses．T11erefore，the research of the 1aSer radiation d锄age of CCD detector has Very impoIrtaIlt sigllificance． In thjs paper we used Mintron73xp CCD c锄e耽廿1e waVelen舢of me 1aSer is 1．06眦， the pulse peal(FWHM is 1 0ns，use the laser irradiate t11e CCD detectors in di舵rem eneF鼢 using CCD records t11e iI巧uIy of its o、Vn in real time，obtained the corresponding damage t：hreshold，aJld conducted a comprehensive analysis of v撕ous stages of d锄age mechanism． B{lSed on me d锄age of 12Lser i玎adiation of window 91ass tr{msmittance of CCD photosensitive area，we also raise a method and a device of measurement t11e injury of micro-optical glaLss，comparing谢t11 tlle theoretical da恤，pr0Ving this method is f．eaSible，and simple to use，overcome the problem of the error of traditional methods，it is an ea、ective way to measurement the缸msmittance of small panel． Key words：pan6led oCD plll辩妇 damage 吣mittam∞ m哪眦℃ 第一章 第一章 绪论 1．1概述 电荷耦合器件CCD(Charge Coupled Devices)，是在MOS(Metal Oxide Semicon． ductor)技术的基础上的延伸继而产生的一种新型半导体光电器