脉冲激光对硅表面微构造的研究-凝聚态物理专业毕业论文.docxVIP

西南科技大学硕士研究生学位论文 西南科技大学硕士研究生学位论文 第1页 摘 要 利用NdYAG纳秒激光脉冲(波长1064 nlil、532 nnl和355 nm)和钛 宝石飞秒激光脉冲对单晶硅表面进行了累积脉冲辐照，并在硅表面制备出了 准规则排列的微米量级锥形尖峰微结构。表面具有尖峰结构的硅材料显示出 奇特的光电性能，在制作新型硅基光电子器件，如，高效的太阳能电池、红 外光探测器和激光功率计等上有很大的潜在应用价值。因此，激光与硅相互 作用，形成表面尖峰微结构的原理与技术的研究已受到国内外的广泛关注。 本论文研究了在一定气压下的SF6、空气、N2和真空环境中纳秒激光辐 照脉冲数和能量密度对微结构的影响。对比了不同背景气氛下和不同纳秒激 光波长辐照下形成的锥形微结构的尺寸、密度和纵横比；发现SF6气氛下形 成的微结构具有更大的纵横比和高的密度，表明在形成尖峰结构方面，SF6 气体比实验采用的其他气体更有优势。并分别从不同背景气体的作用和激光 辅助化学刻蚀率以及不同激光波长作用下的微结构形成机理上作了初步探讨 并给出了定性的理论解释。 同时研究了飞秒激光在特定背景气氛下对硅表面的微构造，比较了SF6、 空气、N2和真空气氛下微结构随脉冲数的演化。对比纳秒和飞秒激光对硅表 面微构造，发现纳秒激光诱导形成的微结构表面有熔融、汽化后再从汽相中 沉积到硅基底的物质及熔化后再凝固的硅。而飞秒诱导的结构则没有观察到 熔化和再凝固迹象，且微结构更尖锐，锥形尖峰状微结构的密度更大；表明 飞秒激光在微构造硅表面形成尖峰结构时比纳秒更优异。最后分析了四种气 氛下飞秒激光与硅相互作用形成微结构起主要作用的机理，飞秒激光的脉宽 与峰值功率是形成良好硅锥形微结构的关键因素。 利用532 nm纳秒激光在空气中对硅表面进行了较大面积微构造，研究 了微构造硅表面O和N元素浓度以及光反射特性与辐照脉冲数的关系。对微 构造硅的光反射特性的初步研究表明，在500---2400 nnl的波长范围内光反 射率不高于20％。 关键词：脉冲激光 硅 激光辐照 表面微构造 光反射 西南科技大学硕士研究生学位论文 西南科技大学硕士研究生学位论文 第1I页 Abst ract The micrometer—sized conical spike arrays are prepared on silicon surface by the cumulative Nd：YAG nanosecond laser(wavelength 1 064 nm，532 am and 355 nln)pulses and Ti：Sapphire femtosecond laser pulses．The silicon with spike structures on surface shows the novel photoelectric properties．These properties have great potential applications in highly efficient solar cells，infrared detectors， laser power meters，and SO on．Therefore，the research on the formation principle and on the technology of surface micro—structures has been extensively concern— ed in all the world． In this thesis，the influence of nanosecond laser shot number and energy density on the micro—structures formed in the ambient gases such as SF6，air,N2 and vacuum has been studied．After comparing the size，density and aspect ratio of conical spikes formed in different background atmospheres or formed by different laser wavelength irradiation，we find that micro—structures formed in SF6 atmosphere have a larger aspect ratio and higher density,indicating that SF6 gas has advantage in formation of th