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第4章 机电一体化检测系统 4.1 概述 4.2 位移检测 4.3 速度、加速度检测 4.4 力、扭矩和流体压强检测 4.5 传感器前级信号处理 4.6 传感器接口技术 4.7 传感器非线性补偿处理 思考题 4.1 概述 4.1.1 检测系统的组成 (1) 把各种非电量信息转换为电信号,这就是传感器的功能,传感器又称为一次仪表。 (2) 对转换后的电信号进行测量,并进行放大、运算、转换、记录、指示、显示等处理,这叫作电信号处理系统,通常被称为二次仪表。 非电量检测系统的结构形式如图4-1所示。 4.1.2 传感器的概念及基本特性 1.传感器的构成 传感器一般由敏感元件、传感元件和转换电路三部分组成,如图4-2所示。 (1)敏感元件: 是一种能够将被测量转换成易于测量的物理量的预变换装置,其输入、输出间具有确定的数学关系(最好为线性)。如弹性敏感元件将力转换为位移或应变输出。 (2)传感元件:将敏感元件输出的非电物理量转换成电信号(如电阻、电感、电容等)形式。 (3)基本转换电路:将电信号量转换成便于测量的电量,如电压、电流、频率等。 (1) 线性度。 传感器的静态特性是在静态标准条件下,利用一定等级的标准设备,对传感器进行往复循环测试,得到的输入/输出特性(列表或画曲线)。通常希望这个特性(曲线)为线性,这对标定和数据处理带来方便。但实际的输出与输入特性只能接近线性,与理论直线有偏差,如图4-3所示。 线性度可用下式计算: 式中: ; γL——线性度(非线性误差); Δmax——最大非线性绝对误差; yFS ——输出满度值。 (2) 灵敏度。传感器在静态标准条件下,输出变化对输入变化的比值称为灵敏度,用S0表示,即 对于线性传感器来说,它的灵敏度S0是个常数。 (3)迟滞。传感器在正(输入量增大)、反(输入量减小)行程中输出/输入特性曲线的不重合程度称为迟滞,迟滞误差一般以满量程输出yFS的百分数表示: 式中: ΔHm——输出值在正、反行程间的最大差值。 迟滞特性一般由实验方法确定,如图4-4所示。 (4) 重复特性。 传感器在同一条件下,被测输入量按同一方向作全量程连续多次重复测量时,所得的输出/输入曲线不一致的程度,称为重复特性,如图4-5所示。重复特性误差用满量程输出的百分数表示,即 式中: ΔRm——最大重复性误差。 重复特性也由实验方法确定,常用绝对误差表示,如图4-5所示。 (5)分辨力。 (6)漂移。由于传感器内部因素或在外界干扰的情况下,传感器的输出发生的变化称为漂移。 (7)精度。精度表示测量结果和被测的“真值”的靠近程度。 3. 传感器的动态特性 动态特性是指传感器测量动态信号时,输出对输入的响应特性。 4.1.3 信号传输与处理电路 传感器信号处理电路内容的选择所要考虑的问题主要包括: (1) 传感器输出信号形式,如是模拟信号还是数字信号,是电压还是电流。 (2) 传感器输出电路形式,是单端输出还是差动输出。 (3) 传感器电路的输出能力,是电压还是功率,输出阻抗的大小如何等。 (4) 传感器的特性,如线性度、信噪比、分辨率。 4.2 位移检测 4.2.1 模拟式位移传感器 1. 可变磁阻式电感传感器 典型的可变磁阻式电感传感器的结构如图4-6所示,它主要由线圈、铁心和活动衔铁组成。 当线圈通以激磁电流时,其自感L与磁路的总磁阻Rm有关,即 (4-5) 式中: W——线圈匝数; Rm——总磁阻。 如果空气隙δ较小,而且不考虑磁路的损失,则总磁阻为 式中: ; L——铁心导磁长度(m); μ——铁心导磁率(H/m); A——铁心导磁截面积(m2), A=a×b; δ——空气隙(m), δ=δ 0+Δδ; μ0——空气磁导率(H/m),μ0=2π×10-7 ; A0——空气隙导磁截面积(m2)。 由于铁心的磁阻与空气隙的磁阻相比是很小的,因此计算时铁心的磁阻可以忽略不计,故 (4-7) 将式(4-7)代入式(4-5),得 式(4-8)表明,自感L与空气隙δ的大小成反比,与空气隙导磁截面积A0成正比。当A0固定不变而改变δ时,L与δ成非线性关系,此时传感器的灵敏度为 图4-7为差动型磁阻式传感
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