面向精密测量的自校准技术研究-精密仪器及机械专业毕业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 中图分类号 TH161+5 学校代码 10356 UDC 681 密级 公开 硕 士 学 位 论 文 MASTER DISSERTATION 面向精密测量的自校准技术研究 ResearchonSelf-calibrationinPrecision Measurement 作 者 王晓晓 导 师 赵军 教授 申请学位 工学硕士 培养单位 中国计量学院 学科专业 精密仪器及机械 研究方向 精密测量技术 二〇一四年三月 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的 研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发 表或撰写过的研究成果，也不包含为获得 中国计量学院 或其他教育机构的 学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均 已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。 学位论文作者签名： 签字日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解 中国计量学院 有关保留、使用学位论文的 规定。特授权 中国计量学院 可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数 据库进行检索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供查阅和借 阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。（保密的学位论 文在解密后适用本授权说明） 学位论文作者签名： 导师签名： 签字日期：年 月 日 签字日期： 年 月 日 致 谢 本文的研究工作是在赵军、郭天太、孔明、刘维、王道档老师的悉心指导 下完成的。 在此，请允许我对导师组的老师表达我真挚的谢意。他们渊博的学识和严 谨的治学态度是我永远学习的榜样。三年的研究生生活像白驹过隙一般，有过 成功和自豪，有过迷茫和懈怠，但导师组的各位老师给予我莫大的精神支柱以 及科研指导，同时在生活上给予我悉心照顾和关心爱护。尤其是我的直接指导 老师郭天太，您的谆谆教导，使我在这里一步一步地成长，从郭老师身上学习 到的人生经验将对我今后的工作和生活产生深远的影响。特别感谢上海交通大 学的陈欣老师，在理论算法方面给予我很大的帮助。 读研的经历让我的人生更加丰富多彩，我见识了更强的学术氛围，得到了 更高的教育培养，收获了更真挚的师生感情。忘不了老师治学态度的严谨，忘 不了同学探讨学术的愉快，忘不了朋友分享成功的骄傲。 同时也非常感谢跟我一起奋斗的同学们，我的师兄师姐汪晨、侯蕊、管清 岩、陈允睿、赖欣欢，李相臣，他们在学习和生活中给予我很大的帮助，让我 在集体生活中有了家的温暖。感谢我的同窗，邹慧、洪博、邓兴拓、韩欢欢、 王欢、崔颖、曹丽霞、何洋洋、宋玉倩、李林峰、王福民和赵超杰等。在和你 们一起学习的时光里，使我感受到了集体的快乐，同时从你们身上学习到了很 多，感谢大家的陪伴，使我度过了美好的研究生生活。 我还要感谢我的父母，是你们支持我追求自己的梦想，让我有了现在的时 光，感谢你们一直以来给予我最大的鼓励和支持，感谢你们对我的理解和包容， 我将以我最大的力量来回报你们，使你们能够过上幸福的生活。 最后感谢各位专家在百忙之中抽出时间评阅我的论文，你们的意见将为我 研究生学习的道路画上圆满的句号。请各位专家不吝赐教，批评指正。 王晓晓 2014 年 3 月 面向精密测量的自校准技术研究 摘要：随着各领域对精密测量技术的要求越来越高，精密定位技术的发展也得 到了越来越多的关注。精密定位技术的提高对校准用标准器提出了越来越严格 的要求，但用于精密甚至超精密工作台的定位校准需要的标准器成本太过昂贵， 或者在现有的技术条件下无法制造。针对这种现状，误差分离技术已受到广泛 的关注。自校准技术是误差分离技术的一种，本文对其进行了系统研究，基本 思路为通过数学算法将测量结果中包含的系统误差分离出来，从而改善工作台 定位精度和测量效果，主要包括理论模型的建立、软件仿真分析、实验验证及 应用探索。 首先，针对测量结果中的误差来源，建立了一维自校准技术的数学模型， 并利用最小二乘法对数学模型中的方程组进行求解，得到最佳估计值。为了验 证模型的正确性，进行了仿真分析。同时，分别对影像测量仪和二等标准线纹 尺进行了一维自校准实验验证。 其次，在一维自校准模型的基础上建立了二维自校准技术的数学模型，并 进行了有、无随机噪声两种情况的仿真分析。利用栅格板对影像测量仪工作台 定位精度进行了二维自校准实验。 然后，针对二维自校准技术模型中的影响因素，进行了各项参数限制条件 的研究，分析了不同测量位置组合方案对自校准技术结果的影响，为自校准技 术实施中选取最佳位置数提供了依据。 最后，将自校准技术拓展至平面度的评定中，并针对有、无随机噪声分别 进行了研究。 本文的研究对于传统校准方法具有创新性，提高了工作台定位精度，对平 面度评定进行了