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江苏大学报告封面 　　光电功能材料　　论文　　论文题目透明导电薄膜　　学生姓名刘　　专业班级光电宗涛1102　　学号　　透明导电薄膜　　摘要：本篇论文不是按照传统的论文格式书写，而是按照思维的一个逻辑性做出对透明导电薄膜的介绍、制备、参数、及发展趋势作出论述。选题是薄膜功能材料，选择透明导电薄膜是因为它在太阳能电池的组成部分之一，对太阳能电池的性能起到很重要的作用。　　首先让我们认识一下透明导电薄膜，透明导电薄膜，顾名思义，是一种兼具透光性和导电性的一类功能薄膜材料，而在专业层面是指:对可见光(波长λ在380~780nm范围内)的透射率高且电导率高的薄膜。确切地说,可见光的平均透光率Tavg80%、电阻率在10-3Ω·cm以下的薄膜才能称为透明导电膜【1】(韩雪,夏慧,吴丽君.透明导电膜及靶材[J].电子元件与材料,1998,17(1):30-35.)。不过鱼和熊掌不可兼得，透明就意味着材料的能带隙宽度大(Eg3eV)而自由电子少;另一方面,电导率高的材料往往自由电子多而像金属,从而不透明【2】。也就是说对固体材料来说，透光度和导电性是一对矛盾的属性。所以只有能同时满足这两种条件的材料才能在透明导电膜上应用。　　自1907年,Bakdeker第1个报道了CdO透明导电膜以来，经过近一个世纪的研究,目前的透明导电薄膜主要有:金属膜、金属氧化物膜、其他化合物膜、高分子膜、复合膜等。其中应用范围最为广泛的是前两种。而用在太阳能电池上面的主要是　　FTO、AZO、ITO三种。　　透明半导体薄膜因其透明、导电的优异性能而应用广泛，除了应用在太阳能电池之外，在很多其他领域也有广泛应用。透明导电薄膜在能源、信息、国防等领域具有广泛的应用价值和重要的研究意义。作为光电子器件的关键电极材料，在平面显示、触摸屏等领域具有巨大的市场需求。此外，透明导电薄膜还可应用于低辐射玻璃(建筑、汽车、冰箱中的环保隔热玻璃)、节能电致变色窗、除霜除雾玻璃、抗静电涂层、防电磁干扰透明窗、红外至雷达波段的宽频谱隐身材料及气体传感器等方向。　　透明导电薄膜的制备工艺：　　衬底材料　　衬底材料的选择,除要求其透明外,还需考虑它与透明导电薄膜热膨胀系数的匹配。衬底一般采用非晶SiO2涂层的钠钙玻璃(SiO2涂层的作用是抑制玻璃中的Na+向AZO薄膜扩散)、单晶硅、ZnS等硬衬底材料,也可采用柔软的聚合物材料。　　物理气相沉积(PVD)法　　目前已能用各种PVD技术,包括离子镀[9]、离子辅助沉积[16]、喷雾热分解[22]、直流磁控溅射[23]和射频磁控溅射[24-25]等沉积出较高质量的透明导电薄膜。　　大多数研究者采用溅射法制备AZO薄膜[21],其主要是利用直流或射频电源在Ar或Ar-O2混合气体中产生等离子体,对合金靶(Al,Zn)或氧化物陶瓷靶(Al2O3,ZnO)进行轰击,通过控制工艺参数可在各种衬底上获得大面积均匀AZO薄膜。与其他方法相比,溅射技术具有沉积温度低、结合力好、沉积速率高、膜厚均匀、高密度、过程容易控制、可反应沉积、能够方便地控制各个组元的成分比例、相对便宜和易于大面积沉积等优点。但所得到的薄膜的透射率相差并不大,其主要区别在于电阻率。化学气相沉积(CVD)法　　化学气相沉积(CVD)法　　[18-21]是气态反应物在衬底表面发生化学反应而沉积成膜的工艺。衬底表面上发生的这种化学反应通常为某种原料(锌、铝)的热分解和原位氧化。如果在CVD法中采用透明导电薄膜的有机金属化合物作为原材料,则称为金属有机化学气相沉积法。这种方法属于异质外延化学气相沉积的一种,利用锌源和氧源在衬底表面进行化学反应从而得到高质量的薄膜。使用的锌源主要有Zn(C2H5)2(即DEZ)和Zn(CH3)2(即DMZ),氧　　源有氧气、水、二氧化碳等,衬底有单晶硅、　　多晶　　硅、蓝宝石、二氧化硅等,工作压强范围从几千帕到常压。化学气相沉积法的反应温度高,在基体与膜层之间易形成扩散层,因此薄膜的结合力好,适于大批量处理。　　溶胶-凝胶(Sol-(转载于:写论文网:江苏大学报告封面)Gel)法　　溶胶-凝胶(Sol-Gel)法[20]是一种高效的边缘制膜技术,一般以醋酸锌为原料,在较低的温度下,使锌的化合物经液相沉积出来,直接制成涂层,并退火得到多晶结构,还可利用AlCl3?2H2O或Al(NO3)3?9H2O实施Al掺杂。Sol-Gel法便于化学计量控制前驱体溶液,容易修改成份,可定制显微组织,容易引入各种官能团或封装传感元件,成膜均匀性好,对衬底附着力强,生长温度低,且无需真空设备,成本低,适于批量生产。　　江苏大学社会调查报告题目名称：　　专业名称：　　班级学号：　　学生姓名：　　完成日期：___________