实验三霍尔效应法测量半导体的载流子浓度、电导率和迁移.docx

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实验三 霍尔效应法测量半导体的载流子浓度、 电导率和迁移率 实验目的 1.了解霍尔效应实验原理以及有关霍尔元件对材料要求的知识。 2.学习用“对称测量法”消除副效应的影响,测量并绘制试样的 VH-IS 和 VH-IM 曲线。 3.确定试样的导电类型、载流子浓度以及迁移率。 实验原理 霍尔效应从本质上讲是运动的带电粒子在磁场中受洛仑兹力作用而引起的偏转。当带电粒子(电子或空穴)被约束在固体材料中,这种偏转就导致在垂直电流和磁场的方向上产生正负电荷的聚积,从而形成附加的横向电场,即霍尔电场。对于图(1)(a)所示的 N 型半导体试样,若在 X 方向的电极 D、E 上通以电流 Is,在 Z 方向加磁场 B,试样中载流子(电子)将受洛仑兹力: 其中 e 为载流子(电子)电量, V为载流子在电流方向上的平均定向漂移速率,B 为磁感应强度。 无论载流子是正电荷还是负电荷,Fg 的方向均沿 Y 方向,在此力的作用下,载流子发生便移,则在 Y 方向即试样 A、A′电极两侧就开始聚积异号电荷而在试样 A、A′两侧产生一个电位差 VH,形成相应的附加电场 E—霍尔电场,相应的电压 VH 称为霍尔电压,电极 A、A′称为霍尔电极。电场的指向取决于试样的导电类型。N 型半导体的多数载流子为电子,P 型半导体的多数载流子为空穴。对 N 型试样,霍尔电场逆 Y 方向,P 型试样则沿 Y 方向,有 显然,该电

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