LCOS光学引擎的仿真设计.doc

清华大学2012届本科毕业论文 第 PAGE \* MERGEFORMAT 33页 共33页 第 Ⅰ 页 共 Ⅰ 页 目录 TOC \o 1-3 \h \z \u 1 绪论 h 1 1.1 引言 h 1 1.2 国内外发展现状 h 3 2 LCOS光调制技术综述 h 5 2.1 LCOS光调制原理 h 5 2.2 LCD背光源相关知识 h 7 3 基于ZEMAX软件的LCOS基本原理仿真 h 11 3.1 光学设计软件ZEMAX h 11 3.2 基于ZEMAX的LCD背光源设计 h 12 3.3 基于ZEMAX的LCOS光学引擎设计 h 21 3.4 分析 h 29 4 全文总结 h 30 参考文献 31 致谢 33 绪论 引言 LCD（Liquid Crystal Display），中文是液态晶体显示器，简称为液晶显示器。早在19世纪末，奥地利植物学家就发现了液晶，即液态的晶体，也就是说一种物质同时具备了液体的流动性和类似晶体的某种排列特性[1]。到20世纪60年代，人们发现给液晶充电会改变它的分子排列，继而造成光线的扭曲或折射。这种在电场的作用下，液晶分子的排列会产生变化，从而影响到它的光学性质，这种现象叫做液晶的电光效应。人们也因此引发了发明液晶显示设备的念头。 世界上第一台液晶显示设备出现在20世纪70年代初，被称之为扭曲向列液晶显示器TN-LCD（Twisted Nematic-Liquid Crystal Display）。尽管是单色显示，它仍被推广到了电子表、计算器等领域。 近年来液晶显示器发展迅速，与传统的阴极射线管CRT（Cathode Ray Tube）显示器相比，LCD不但体积小，厚度薄，重量轻、耗能少、工作电压低并能直接与互补金属氧化物半导体CMOS（Complementary Metal Oxide Semiconductor）集成电路匹配。由于优点众多，LCD从1998年开始进入台式机应用领域。逐步取代笨重的CRT显示器，目前已成为主流的显示设备。 近几年来，在LCD业界出现了许多新技术，其中较热门的技术是LCOS。LCOS最大的优点是解析度可以很高，在携带型资讯设备的应用上，此优点是其他技术无法与之看齐的。缺点是模组的制程较为繁琐，各生产阶段良率控制不易，成本难以有竞争力。目前只能停留在需要高解析度的特定用途中，如液晶投影器。[2] LCOS技术一经推出便在全世界范围内造成极大影响，但由于制造工艺等方面原因，目前基于LCOS技术的产品还没有形成大规模量产，只有少数厂家开发出了应用于投影机的LCOS芯片和应用LCOS技术的投影机及背投电视机。LCOS技术在以后大屏幕显示应用领域具有很大优势，它没有晶元模式，且具有开放的架构和低成本的潜力。 省电、便宜与高解析度为LCOS最大优点。LCOS可视为LCD的一种，但传统的LCD是做在玻璃基板上，但LCOS则是长在矽晶圆上。和LCOS的相对比的产品，最常用在投影机上的高温多晶矽LCD为代表。后者通常用穿透式投射的方式，光利用效率只有3%左右，解析度不易提高；LCOS则采用反射式投射，光利用效率可达40%以上，且其最大的优势是可利用最广泛使用、最便宜的CMOS制程，毋需额外的投资，并可随半导体制程快速的微细化，易于提高解析度。反观高温多晶矽LCD则需另投资设备，且属于特殊制程，成本不易降低。[3,4] LCOS投影芯片除了拥有理论上最低的成本外还具有着其它的显著优点。 和LCD比较，LCOS技术仅拥有一个光学面，从而能够利用另一个平面配置驱动电路。进而达到驱动电路和芯片一体化的产品结构。普通的LCD有大量密集的外部引线，如一个1024×768像素点阵的LCD便有2592条外部引线，给整机装配带来了诸多不便。LCOS由于是将LCD制于单晶硅片上，LCD的行、列引出线皆通过半导体工艺在硅片内与IC相连接，故留在外部的仅有数条数据控制线、时序线及电源线等。可利用通用连接端口与前级电路相连接，颇为简便。[5] 　　普通的LCD透光的光学结构决定了两个光学平面必须保持“干净”。这使得像素分子中间不仅要包含LCOS技术液晶层所需要的像素涂布的分割网格，同时还必须拥有芯片工作必须的“电线”等电子设备。这些设备占据了大量的芯片光学面积，使得芯片的开口率在早期很难突破40%。但是，采用单光学面工作的LCOS芯片则可以轻易形成超过90%的开口率。 　　此外，普通的LCD在制造过程中需在玻璃基板上进行光刻，制成像素。通常将像素制至0.28mm已属不易，因在每个像素上还需制出一个有源器件（这些因素也影响到产品的开口率）。但LCOS的像素是制在单晶硅片上，硅片采用LSIC的工艺进行加工，可将