精度理论应用2010-12.pdfVIP

精度理论和应用-12 —误差补偿和应用 主要内容 ☆误差补偿基本概念 ☆系统误差补偿分类和应用 如何提高精度? ☆在精密工程发展初期，提高精度水平的主要 途径是完善传统技术． ☆随着精度水平的进一步提高、如果继续提 高精度水平，除采用新技术外，必须考虑各 误差源的影响方式及如何消除其影响。 • 随着科学技术飞跃发展的需要，人们对精密机械 提出了很高的要求，用上述传统的保证精度的措 施是无法达到的。 • 例如超精密加工机床主轴的回转精度要求不超过50nm ， 动力调谐陀螺挠性接头孔的圆度误差不得大于5nm而当前 世界上精度最高的圆度仪（如德国公司生产的EGA ，圆度 仪），其主轴回转误差只能保证20NM ，仅此测量设备一 项，就保证不了上述精密机件的要求。 • 为此，发展误差分离技术和补偿技术，使机械精 度达到亚微米级和纳米级，是当代精密工程走向 精密、超精密级的主要途径之一。 误差隔离(减弱) • 通过分折和诊断各种误差源，可采取有针对性的 “硬技术”．使误差得以消除或减小． 例如果用严 格的温度控制、隔振措施、气流扰动及环境状态的控制， 以消除或减小系统外的误差源影响，并通过提高 仪器设备中关键部件的制造精度减小系统内的误 差源影响。 误差补偿 • 误差源可以通过测试经验或其它方法诊断出来．这些误差 都有确定的特点和自身表现规律．并以其确定的规律影响 测量结果． 在不改变测量环境和仪器主要结构的前提下． 通过补偿方法和补偿环节(软件成硬件)的加入、便可利用误 差的特点与规律，消除或大大减弱这些误差的影响 例子 • 误差的隔离和消除-即找出误差产生的根源，采取相 应措施，使误差不产生和少产生 . θ L t 2π 误差 θ L +∆t t Σ 2π θ−∆θ ∆t L +∆t t θ 2π Σ Σ ∆ =− 2π t ∆h 1 sin θ θ ∆h1 Ltgβ =∆ ≈∆ R ∆h θ R ∆  1 tgβ L L ∆t R =−2π Σ t L 螺旋误差补偿 误差补偿意义 • 误差补偿原理是仪器设计中应用广泛而意 义重大的设计原理。 • 补偿原理的