面向模拟IC测试的高精度数字化仪的设计与实现-微电子学与固体电子学专业毕业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 DESIGN AND IMPLEMENTATION OF HIGH PRECISION DIGITIZER FOR ANALOG IC TEST A Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Microelectronics and Solid State Electronics Author: Yang Rong Advisor: Professor Li Ping School : Microelectronics and Solid State Electronics 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取 得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外， 论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得 电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一 同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明 并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规 定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允 许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部 或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等 复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘要 摘 要 集成电路（Integrated Circuit，IC）产业在国民经济和社会发展中扮演着重要 的作用，其中集成电路测试是集成电路生产流程中必不可少的步骤，随着半导体 制造工艺的发展和集成电路功能日益复杂化，与之相应，对集成电路自动测试设 备也提出了更高的要求，以满足验证和测试的新需求。数字化仪是模拟集成电路 测试系统/混合信号集成电路测试系统的核心部件之一，它实现模拟芯片输出信号 的数字化过程，验证芯片是否满足设计要求和实际应用。 本文面向模拟集成电路测试的特定应用，阐述了数字化仪的在集成电路测试 中的特殊要求，在研究数字化仪工作原理的基础上，首先构建了多通道数字化仪 的软硬件架构，然后完成了面向模拟集成电路测试的高性能数字化仪的设计和实 现；并采用软硬件协同校准方法，提高数字化仪的测试精度，主要内容包括： 1、 介绍了集成电路自动测试设备(Automatic Test Equipment，ATE)的发展历 程及应用现状，并对模拟 IC 自动测试系统的典型架构和各模块的功能进 行说明，最后阐述了本课题的研究意义和价值。 2、 根据模拟集成电路测试的实际要求，重点分析和讨论了数字化仪的设计原 理、软硬件架构和实现方案。 3、 完成面向模拟 IC 测试的数字化仪的硬件部分的设计和实现，并对其中的 信号的输入方式、增益调整、差分驱动和校准等关键模块进行了详细的阐 述；最后就数字化仪 PCB 设计中需要注意的地方提几点建议。 4、 完成 FPGA 控制逻辑主要模块的开发，对数字化仪关键模块和系统进行了 调试，并分析和讨论了调试过程中遇到的问题和技术难点，主要包括数字 化仪的误差分析和精度改进。 5、 对本课题设计的数字化仪进行测试，并分析和总结了测试的结果，面向模 拟 IC 测试的数字化仪实现了设计的基本目标，基本满足模拟芯片的测试 要求。 关键词：集成电路自动测试设备，数字化仪，数据采集，校准 I ABSTRACT ABSTRACT Integrated Circuit(IC) industry plays an important role in the national economic and social development, and IC test is an essential step during the IC manufacturing processes. Functions of chips become increasingly complex with the development of semiconductor manufacturing technology, correspondingly, more advanced IC Automatic Test Equipment (ATE) required for demanding of validation and testing. As implements dig