真空镀膜技术.pptxVIP

真空镀膜技术;一、简介;二、真空系统的基本知识;真空的定义： ? 真空是压力低于一个大气压的任何气态空间。一般采用真空度来表示真空的高低。 真空度的单位： ? 真空度以压强为单位来度量，压强高表示真空度低。压强低标识真空度高。 ?真空度的国际单位是帕斯卡简称帕（Pa）。 ?毫米汞柱（mmHg）：1mmHg＝133.3Pa ?托（Torr）：1Torr＝1/760atm=133.3Pa ?巴（Bar）：1Bar＝105Pa;? 气体分子之间相邻两次碰撞的距离，其统计平均值为平均自由程。?l=1/(√2π?2n)=kT /(√2π?2P）;真空区域的划分 目前尚无统一规定，常见的划分为： 粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高真空 ;真空获得—真空泵;真空泵的分类;真空泵的主要参数;极限压强 (极限真空) 最高工作压强 工作压强范围（ ） 泵能正常工作的压强范围 几种常用真空泵的工作压强范围 旋片机械泵 吸附泵 扩散泵 涡轮分子泵 溅射离子泵 低温泵 ; 几种常用真空泵的工作原理1. 旋片机械泵;旋片式机械泵;2. 油扩散泵; 真空的测量—真空