离子注入GaN的光学和电学特性研究-核科学与技术 粒子物理与原子核物理专业毕业论文.docxVIP

兰州大学博士学位论文摘要 兰州大学博士学位论文 摘要 宽带隙半导体材料——QIN，由于其优良的物理和化学性质，使其在短波区 发光器件、极端条件(譬如辐射环境)器件等领域有着重要和广泛的应用潜力和 良好的市场前景。故而，对于GaN材料掺杂研究成为目前半导体材料研究领域 的热点之一。作为常用的器件处理工艺，离子注入是一种有效的掺杂方式。由于 离子注入对GaN材料的光学和电学特性有着较大的影响，同时对于GaN的不同 发光带的发光机理还没有明确统一的认识，所以本工作重点对离子注入GaN材 料光学特性的影响进行了研究，并对离子注入GaN材料的电学特性的影响以及 不同离子注入绝缘的应用前景进行了探讨。值得一提的是实验同时对离子共注 GaN技术进行了初步的探讨。 实验过程中采用的注入方法为单离子注入(Be、Mg、AI、Si)和双离子混合 注入(Mg+Be、Mg-+-Si)。其中单离子的剂量分别为：1013、10¨、10”、1016／cm2： 双离子的注入剂量为：1013、1014、1015／em2(Mg+Be)和1013、1014、1015、 1016／era2(Mg+Si)，注入是在室温的条件下进行的。注入后的样品在950*(2的流 动氮气的环境下进行热退火，退火时间为30分钟。对退火前后的样品分别进行 室温光致发光、拉曼散射光谱及霍尔效应的测量，通过对测量结果的分析得到了 以下主要结论： 1)通过对GaN光致发光特性的分析确定GaN材料的黄光发射起因于带隙 间杂质能级间的跃迁，是典型的Ds～P跃迁，即浅施主向深受主的跃迁。Be离 子注入GaN增强黄光发射是缺陷复合体Vc-aBei贡献的结果，该复合体在GaN带 隙中引入了深受主能级。 2)根据实验是在a型GaN中实现的注入以及黄光带是D。AoP跃迁的前提下， 分别得到了关于施主和受主注入产生黄光发射的缺陷的浓度随不同掺杂离子浓 度的两个变化关系式4．6和4．10。 3)Mg／Si离子共注的实验结果表明与注入Mg的GaN蓝光带相关的深能级 仍然是深受主能级，蓝光发射也是浅施主向深受主的跃迁，浅施主是Mg间位 Mgi，而深受主有两种可能，或者是能级位于价带之上0．43eV的某一未知的缺陷； 或者就是空间上与其分离的紧邻氮空位VN的替位MgGa，即复合体MgGavN。共 兰州大学博士学位论文注实验结果表明施主Si与受主Mg共注GaN材料确实能够增加受主Mg的溶解 兰州大学博士学位论文 注实验结果表明施主Si与受主Mg共注GaN材料确实能够增加受主Mg的溶解 性。 4)对未注入GaN黄光发射负责的点缺陷(镓空位及缺陷复合体)也同样对 红光发射负责，只是由于其被不同种类的扩展缺陷所影响从而对发光带的峰位产 生了变化或者说能级发生了变化。 5)离子注入GaN的拉曼光谱中的298cm1艰1)的散射峰是来自声学声子贡 献的无序激活拉曼散射(DARS)，667 cm1(R3)散射峰则是来自光学声子贡献的 结果。360 cm1(R2)散射峰强度随注入离子的种类、剂量以及退火温度的变化而 变化，它是简单缺陷譬如空位和间隙原子等贡献的结果而不是复杂缺陷，并且极 有可能是氮空位相关的缺陷引起的。 6)不同种类离子注入都会使GaN薄膜产生压应力，压应力的大小与注入离 子的剂量的依赖并不明显：离子注入产生的缺陷譬如空位和间位等以及注入离子 与要取代的GaN主晶格位置的Ga或N原子所具有的原子尺寸的差别都会影响 应力的大小，实验结果显示前者在离子注入GaN的实验中起着决定性的作用。 7)由于在注入过程中产生大量的点缺陷或简单的缺陷络合物，形成电子和 空穴的深层陷阱，阻止电子和空穴的流动，从而造成电阻值随离子注入剂量的增 加而升高。高剂量的受主注入能够产生高的阻抗，其在高温退火后依然存在，具 有一定的实用价值。 8)Be离子在低剂量(1013cm2)注入GaN后主要还是以间位施主Bei的形 式存在而不是替位。当注入剂量为1014cm-2时，Si离子的注入存在严重的fl_{}l,偿， 形成的受主补偿了原来以及Si离子注入所增加的载流子，使得电阻值升高；更 高剂量的Si离子的注入则会使得GaN的电阻值显著降低。 关键词：GaN离子注入光致发光拉曼散射霍尔效应 Ⅱ 兰州大学博士学位论文Abstract 兰州大学博士学位论文 Abstract Gallium Nitride(㈣is promising、)l，ide bandgap material for fabricating high-efficiency light emitting devices in the short-wavelength regions and extremely using devices．It is expected to perform i