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燃烧科学与技术 2018 ，24 (6) ：477-486
Journal of Combustion Science and Technology DOI 10.11715/rskxjs.R201804008
入口条件对 D4 合成石英玻璃的影响
黄泽宇，黄耀松，陈 靖，郑丽丽
(清华大学航天航空学院，北京 100084)
摘 要 ：通过对 D4 合成石英玻璃过程的数值模拟研究，分析了氢氧当量比、氢氧质量流量、D4 和载气总流量对
沉积面温度和组分分布以及沉积位置的影响，并根据石英玻璃软化温度优化了沉积面形状．研究结果表明，氢氧
当量比为 1.0 时，沉积面上温度和组分浓度梯度都比较大．适当地降低当量比或者氢氧质量流量，增加中心入口
流量，可以减少 OH 生成，提高 SiO2 产量，改善沉积面上组分浓度分布均匀性；但流量过低，会导致沉积效率
下降．沉积位置应根据火焰温度进行调整，沉积面上非均匀的温度分布一定程度上是由于物理模型中沉积面形状
的不合理造成的，偏平状的沉积面更加符合实际情况．
关键词 ：石英玻璃；D4 反应机理；反应流；数值模拟
中图分类号：TK16 文献标志码 ：A 文章编号 ：1006-8740 (2018)06-0477-10
Effects of Entrance Conditions on Fused Silica Glass Synthesis Using D4
Huang Zeyu ，Huang Yaosong ，Chen Jing ，Zheng Lili
(School of Aerospace Engineering ，Tsinghua University ，Beijing 100084 ，China)
Abstract ：This paper presents numerical studies of silica glass synthesis conducted via chemical vapor deposi-
tion (CVD)using D4 instead of traditional SiCl as the source gas. Herein ，effects of the H /O equivalence ratio ，
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and the mass flow rate of H /O and the D4/carrier gas flow rates on the temperature and species concentration dis-
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