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江苏信息职业技术学院毕业设计（论文） PAGE 2 PAGE \* MERGEFORMAT PAGE \* MERGEFORMAT 1 毕业设计论文 WAT工艺参数测试 系 电子信息工程系 专业 微电子技术 姓名 钦 班级 微电 学号 1003320 指导教师 席 职称 讲师 设计时间 201.9.19－.1.4 江苏信息职业技术学院毕业设计（论文） WAT工艺参数测试 摘要: 。要晶圆的工艺参数测试方法。主要介绍以下几个方面的内容 ：参数测试在现在集成电路产业中的重要性；晶圆可靠性参数测试的相关知识的介绍；测试参数的介绍；以及测试所需的软件和硬件的介绍；系统的并详细的说明了在测试过程中会遇到哪些问题，以及在测试过程中操作者经常会犯得错误。错误的种类等，以及相关工程师如：工艺工程师；（负责相关产品的测试程序编写）设备工程师(负责测试机台的检测与维修）相关问题本文将做进一步解释。 关键词：可靠性； 监测系统；晶圆测试； 目录 TOC \o 1-3 \h \z \u 摘要: h 1 第一章 引言 h 3 1.1课题背景 h 3 1.2课题意义 h 3 第二章 ＷＡＴ测试介绍 h 4 2.1 ＷＡＴ的作用 h 4 2.2 ＷＡＴ测试参数介绍 h 4 第三章 测试系统介绍 h 6 3.1 硬件系统介绍 h 6 3.2 测试操作流程 h 7 3. 2.1 针卡放置 h 7 3.2.2 产品片的放置 h 7 3.2.3 测试窗口的打开 h 7 3.2.4 P8测试程序的介绍 h 7 3.2.5 主要操作流程 h 7 3.4 显微镜的使用 h 9 3.5 P-8上产品测试操作 h 11 第四章 ＷＡＴ测试问题改善方案 h 12 4.1 常见的测试问题 h 12 4.2 测试输入监测系统 h 12 4.3测试输入检查系统 h 12 总结 h 14 致谢 h 15 参考文献 h 16 PAGE \* MERGEFORMAT PAGE \* MERGEFORMAT 4 PAGE \* MERGEFORMAT PAGE \* MERGEFORMAT 3 第一章 引言 1.1课题背景 中国是世界上增长最快的半导体市场，目前中国市场占全球市场约15%。据市场调研机构预测，中国在2008年前将成为全球最大的半导体市场，市场份额约占全球市场１／４。 我国集成电路在20世纪90年代以前大部分为垂直生产的“准IBM”模式。那是集成电路刚刚萌芽，国内也没有真正意义是的代工企业，只是有能力的企业进行集成电路，为小部分企业产能为国内设计服务。进入21世纪，以中芯国际，上海宏利等公司的建设为代表，国内才有了真正意义上的代工企业。这种国际化的产业模式在国内的创新迅速缩小了我国与世界集成电路水平的差异，不仅生产规模与生产能力的迅速扩大，生产技术也在几年里达到65纳米—90纳米，与国际先进水平只差1-2技术点。 1.2课题意义 晶圆可靠性参数测试（简称WAT测试）大多以完成制成、待出货的芯片为测试对象。如果wafer在WAT站点由于测试问题造成报废对工厂是很大损失，所以减少由于测试问题影响的wafer片数可以大大降低由此所产生的成本消耗。也降低工厂的成本，提高获利。在中芯国际上海厂原来的三个厂由于之前是分别发展，系统有所区别，不同的系统会浪费公司的很多资源需要更多的工程师进维护。对系统进行统一，可降低工程师的维护成本，提高系统的可靠性，降低新人训练所需时间。 第二章 ＷＡＴ测试介绍 2.1 ＷＡＴ的作用 WAT在代工厂中处于比较特殊地位，位于所有加工工艺之后出货品质检测之前，所有wafer必须经过WAT的测试，并且测试结果必须面满足客户给出的规格要求WAT在集成电路芯片测试过程中显得尤为重要. WAT测试出来的窗口数据，除了作为出货的判断依据外，还有很多方面的用途，包括检测工艺窗口，对工艺进行除错，对可靠性刻画，对电路设计进行器件建模，开发下一代产品。WAT数据使用者包括：工艺整合工程，工艺工程，产品工程，器件工程师。 2.2 ＷＡＴ测试参数介绍 一般来说WAT参数测试分为两大类，一类和器件相关的，包括MOS开启电压饱和电流，关闭电流，击穿电压等。另一类和工艺相关的，包括结膜层接触电阻栅氧