外接感测器帮浦系统监控架构图.PPT

2010/10 機台監控系統 *ITM LOGO 需要額外檢查站點 無影響 產品週期時間 高(可能已經過了許多站點) 低 產品重工成本 低 (可能已經過了許多站點) 高 即時性 抽批抽片檢查 產品週期限制 每批/每片晶圓 所有參數都檢查 抽樣數 線上產品良測 先進製程監控 　 先進製程監控 vs. 傳統 產品製造品質管理比較 先進機台監控系統的優勢 全廠導入監控系統的優點 能最快發現生產線製程異常的自動化系統 降低生產成本 穩定產品製造週期 提高客戶滿意度 提升製程能力Cpk 改善產品品質 提高企業跨部門工程溝通的效率 節省人力 完善的知識管理平臺 累積工程經驗 EAP PC EAP PC EAP PC EAP PC EAP PC (Linux / MS) 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用軟體 M1 TOOL 1 TOOL 2 TOOL 3 RS232 RS232 RS232 RS232 RS232 區域網路 機台 半導體 6 “ 8 機台監控系統架構圖 (Linux / MS) 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用程式 區域網路 機台 半導體 12 機台監控系統架構圖 感測器 LCD 機台 PLC 感測器 PLC 感測器 PLC 感測器 PLC 感測器 PLC SESC / GEM (Linux / MS) 資料收集器