三维互连电容提取算法研究-物理 光学专业论文.docxVIP

摘要摘要 摘要 摘要 在集成电路的设计过程当中，精确的电磁参数提取对电路设计具有至关重要 的意义，而在这些电磁参数里电容参数尤为重要。电容提取的边界元法由于具有 精度高、变量少、处理复杂边界能力强等优点而得到了广泛的应用。 随着半导体工艺的进步，芯片集成度和运算速度的提高，互连寄生效应的影 响也日益明显。现有的电容提取软件已经不能满足实际工程的需要，迫切需要研 制出新的高精度、高效率的电容提取算法，或者是现有算法的联合。 本文采用间接边界元法和多极加速算法来提取电容，并以此为依据编制了电 容提取程序。该方法是间接边界元法与多极加速算法的结合，是一种快速的电容 提取方法。本文重点介绍了间接边界元法和多极加速算法的基本原理，简要介绍 了程序实现的思路，从程序实现的角度详细论述了导体模型的网格化问题，导体 模型分割、索引问题，以及多级加速算法的分步实现问题，并对该方法的性能进 行了验证。最后，本文还简要介绍了GMRES(m)的实现步骤，这是求解大型线性 方程组的一种有效方法。 关键词： 电容提取 边界元法 多极加速 AbstractABSTRACT Abstract ABSTRACT Accurate electromagnetic parameter extraction is very important in the design of integrated circuit,and