用于电子制造的运动系统-PhysikInstrumente.PDF

用于电子制造的运动系统 放置 对准 加工 检查 测试 W W W . P I . W S 用于电子制造的运动系统 工业4.0、物联网、云计算、自动驾驶、电子健康、增强现实或人工智能均受益于半导 目录 体和电子行业当前所提供的先进技术。同时，这些不断增长的市场也为它们带来了巨 用于放置的自动化平台 3 大的挑战：具有更高功能密度的更小的元件、更短的创新周期以及日益多样化的最终 用于对准的自动化平台 4 产品。 用于加工的自动化平台 5 生产系统的精度、吞吐量、可靠性和灵活性在晶圆和芯片级别变得更具决定性，更不必 用于检查的自动化平台 6 说在印刷电路板级别了。用于放置、对准、加工或检查元件的每个定位解决方案必须能 用于测试的自动化平台 7 够满足这些要求。 精心设计的龙门系统 8 工艺类型、工作循环、刀具类型、加工表面尺寸、特征尺寸以及诸如吞吐量、精度和几 并联运动系统 10 何公差等标准对运动系统提出了不同的要求。 旋转台 12 XY位移平台 14 凭借多年的半导体市场经验、技术多样性和高度垂直的制造范围， PI能够灵活地应对市 场发展并提供满足电子制造领域的OEM、集成商和最终用户需求的运动系统。 偏摆台和物镜扫描仪 17 线性平台 18 本手册包含从标准产品到通过标准工业网络进行通信的高度定制解决方案的不同生产 Z向位移台 23 步骤的高性能系统示例。